研究领域 查看导师新发文章 (温馨提示:请注意重名现象,建议点开原文通过作者单位确认) (1) 集成传感技术与器件 硅微型加速度计 硅集成压力传感器 集成磁场传感器 硅微流量计 (2) 微电子机械系统 (MEMS)