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个人简介

2002年毕业于中国科技大学物理系,同年进入中科院半导体研究所集成光电国家重点实验室,2007年获得微电子专业工学博士学位。目前就职于中科院苏州纳米所纳米加工平台,主要从事半导体器件与工艺的研究。

研究领域

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1. 半导体微纳加工工艺; 2. 光互连; 3. 红外探测。

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