个人简介 2002年毕业于中国科技大学物理系,同年进入中科院半导体研究所集成光电国家重点实验室,2007年获得微电子专业工学博士学位。目前就职于中科院苏州纳米所纳米加工平台,主要从事半导体器件与工艺的研究。