赵磊 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向高通量基因测序荧光显微成像技术，光刻投影物镜像质补偿技术教育背景 2016-09--2019-06 中国科学院大学大珩学院工学博士 2006-09--2009-01 大连理工大学机械工程学院工学硕士 2002-09--2006-07 中南大学机电工程学院工学学士工作简历 2016-09~2019-06,中国科学院大学大珩学院, 工学博士 2009-04~2020-05,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究实习员、助理研究员、副研究员 2006-09~2009-01,大连理工大学机械工程学院, 工学硕士 2002-09~2006-07,中南大学机电工程学院, 工学学士专利成果（ 1 ）一种能够产生多种像差的变形镜装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN105259651B （ 2 ）透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103472560B （ 3 ）一种微位移传感器标定装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103697819B （ 4 ）基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103697818B （ 5 ）一种像散变形镜装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN104076617B （ 6 ）光刻物镜中透镜轴向调整装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103389558B （ 7 ）支撑高度可调式光学元件多点支撑结构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103389554B （ 8 ）光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN102722016B （ 9 ）一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101900862B （ 10 ）一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102169218B （ 11 ）一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN104238065B （ 12 ）一种三叶像差变形镜装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN104076616B （ 13 ）一种四叶像差变形镜装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN104076618B （ 14 ）气动微位移波纹管驱动器, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105417493B （ 15 ）一种投影物镜系统中光学元件调心装置, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102162894B （ 16 ）气动光学变形镜系统的控制方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN105301956B （ 17 ）一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN104216237B （ 18 ）一种用于光学测量的积分球装置, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN101915609B 科研项目（ 1 ）浸没式光刻机光学系统研制与批量成产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2020-12 （ 2 ）超高通量基因测序成像系统研究, 主持, 院级, 2017-01--2020-01 （ 3 ）大行程滑动摩擦副的超声减摩方法研究, 参与, 省级, 2019-01--2021-12

近期论文

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（1） High-precision compliant mechanism for lens XY micro-adjustment, Review of Scientific Instrument, 2020, 第 1 作者（2） Dynamic linear modeling, identification and precise control of a walking piezo-actuated stage, Mechanical Systems and Signal Processing, 2019, 第 3 作者（3） Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens, applied optics, 2018, 第 1 作者（4） A deformable plane-parallel optical plate with 16 actuated points for low order aberrations correction, proceedings of SPIE, 2016, 第 2 作者（5）  基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解, 光学精密工程, 2016, 第 1 作者（6）  具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构, 光电工程, 2015, 第 1 作者（7）  光刻物镜主动变形镜像差补偿分析, 激光与光电子学进展, 2015, 第 2 作者（8）  基于FPGA的液晶显示屏测试用标准白场装置, 液晶与显示, 2014, 第 1 作者（9）  基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究, 仪器仪表学报, 2014, 第 2 作者（10）  利用失调量向量计算投影物镜小比例模型系统补偿量, 光学学报, 2014, 第 3 作者（11）  光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验, 光学学报, 2014, 第 4 作者（12）  直梁圆角形柔性铰链的柔度矩阵分析, 中国机械工程, 2013, 第 1 作者（13）  直梁圆角型柔性铰链的回转精度分析, 中国机械工程, 2013, 第 1 作者（14）  光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析, 光电工程, 2013, 第 3 作者（15）  光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构, 光学精密工程, 2013, 第 1 作者（16）  光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析, 光学学报, 2012, 第 1 作者（17）  18~90mm连续变焦距镜头的研制, 光学学报, 2012, 第 1 作者（18）  预紧式Stewart结构六维力/力矩传感器, 光学精密工程, 2011, 第 1 作者（19）  单点金刚石机床及其在光学工程领域的应用, 中国光学, 2011, 第 2 作者（20）  基于液晶显示器的白场仪设计及其实现, 液晶与显示, 2011, 第 3 作者