龚学鹏 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向束线光学及装备技术教育背景 2007-09--2010-06 吉林大学博士 2005-09--2007-07 吉林大学硕士 2001-09--2005-07 吉林大学学士工作简历 2018-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究员 2012-09~2018-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员 2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员 2007-09~2010-06,吉林大学, 博士 2005-09~2007-07,吉林大学, 硕士 2001-09~2005-07,吉林大学, 学士专利成果（ 1 ）一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN201510190428.1 （ 2 ）超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN201410311668.8 （ 3 ）一种EUV反射镜清洗装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN201510229051.6 （ 4 ）具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510289240.2 （ 5 ）一种X射线波段光学元件高精度面形控制装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510316760.8 （ 6 ） EUV多层膜碳污染实验装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510213471.5 科研项目（ 1 ）极紫外多层膜表面碳沉积的机理、检测方法及去除策略研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12 （ 2 ）激光位移传感器产业化技术研究, 主持, 省级, 2015-01--2017-12 （ 3 ）短波段光学元件碳污染原位清洗与检测技术研究, 主持, 国家级, 2015-07--2018-07 （ 4 ） EUV多层膜光学元件寿命实验研究平台, 参与, 国家级, 2012-01--2020-12 （ 5 ）软X射线共振发射(RXES)谱仪机械系统, 参与, 研究所（学校）, 2016-12--2017-12 （ 6 ）同步辐射双偏转镜和聚焦镜系统, 主持, 研究所（学校）, 2017-12--2020-12 （ 7 ）软X射线光栅单色器, 参与, 研究所（学校）, 2017-11--2020-06 （ 8 ）基于X射线诱发激进粒子反应机制的短波增反膜表面碳沉积原位、高效、无损清洗方法的研究, 主持, 国家级, 2020-01--2023-12

近期论文

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（1） Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2018, 第 1 作者（2）软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统, 光学精密工程, 2017, 通讯作者（3） Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2016, 第 1 作者（4） Mechanical design and performance evaluation for plane grating monochromator in a soft X-ray microscopy beamline at SSRF, Journal of X-Ray Science and Technology, 2015, 第 1 作者（5） X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析, 仪器仪表学报, 2015, 第 1 作者（6） Structure Design and Numerical Simulation of a High Performance Slit in Soft X-Ray Interference Lithography Beamline at SSRF, Advances in Mechanical Engineering, 2014, 第 1 作者（7） X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试, 光学精密工程, 2014, 第 1 作者