张志宇 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向超精密加工与微纳加工衍射成像原理与元件加工激光制造原理与应用教育背景 2007-10--2010-09 日本东北大学博士 2004-09--2007-01 吉林大学硕士 2000-09--2004-07 吉林大学本科工作简历 2020-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究员 2013-09~2020-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员 2011-12~2013-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员 2007-06~2007-09,日本东北大学, 研究支援者专利成果（ 1 ）离轴非球面反射镜的砂轮原位自动整形铣磨加工方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103737451A （ 2 ）铣磨加工前离轴非球面反射镜镜面CAD模型的建立方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103034767A （ 3 ）一种提高大口径菲涅耳波带片衍射效率的方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106842396A （ 4 ）一种半导体器件及其制作方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106707715A （ 5 ）一种工件面形测量系统及方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711172671.6 （ 6 ）基于微织构刀具的切削装置、方法及刀具加工方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711172654.2 （ 7 ）基于刀具磨损补偿的迭代式超大口径反射镜铣磨加工方法, 发明, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106271966A （ 8 ）一种辊筒表面微结构制作设备、系统及方法, 发明, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN201911370306.5 （ 9 ）一种光学系统畸变测量方法及设备, 发明, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN201911268111.X （ 10 ）一种激光分束器分束角度测量方法、装置、设备及系统, 发明, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN201911318423.7 （ 11 ）一种基于衍射原理的平行光管结构及设计方法, 发明, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN201911318423.7 发表著作（1） Microfabrication by Laser Lithography Combined with Ion Etching, Springer, 2018-02, 第 1 作者科研项目（ 1 ）基于砂轮原位自动修整的大型SiC离轴非球面精密铣磨研究, 主持, 国家级, 2014-01--2016-12 （ 2 ）面向高附加值光电产品的气体团簇抛光机理与技术研究, 主持, 省级, 2015-01--2017-12 （ 3 ）聚酰亚胺薄膜超湿滑刀具时变切削的减摩抗粘机理与技术研究, 主持, 国家级, 2018-02--2021-12 （ 4 ）超大口径光学元件超声磨抛加工技术及装备, 主持, 国家级, 2018-01--2020-12 （ 5 ）宽波段平面超表面太阳能聚光器及其集热系统, 主持, 国家级, 2020-07--2025-06 （ 6 ）基于微纳结构的超高集成光电探测关键技术研究, 主持, 国家级, 2021-01--2024-12

研究领域

超精密车削--超精密磨削--无掩膜激光直写--高品质离子束刻蚀加工--超快激光制造--空间制造新模式

近期论文

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（1） Prism-assisted achromatic diffraction system for multi-focus biological microimaging, Optics and Lasers in Engineering, 2020, 第 6 作者（2） Comprehensive study of rapid stressed mirror polishing method for off-axis aspheric SiC thin plate mirror, Optics Express, 2020, 第 4 作者（3） High-speed femtosecond laser plasmonic lithography and reduction of graphene oxide for anisotropic photoresponse,, Light: Science & Applications, 2020, 第 8 作者（4） Influence of wax lubrication on cutting performance of single‑crystal silicon in ultraprecision microgrooving, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2020, 第 3 作者（5） Manufacturing technologies toward extreme precision, International Journal of Extreme Manufacturing, 2019, 第 1 作者（6） Distortion measurement of optical system using phase diffractive beam splitter, Optics Express, 2019, 第 2 作者（7） Investigation and modeling of microgrooves generated on diamond grinding wheel by abrasive waterjet based on Box–Behnken experimental design, The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2019, 第 7 作者（8） Noncontact on-machine measurement system based on capacitive displacement sensors for single-point diamond turning, Optical Engineering, 2018, 第 2 作者（9） High-performance etching of multilevel phase-type Fresnel zone plates with large apertures, Optics Communications, 2018, 第 2 作者（10） Fabrication of a high-accuracy phase-type computer-generated hologram by physical vapor deposition, Applied Optics, 2018, 第 1 作者（11） Ultra-precision fabrication of a nickel-phosphorus layer on aluminum substrate by SPDT and MRF, Applied Optics, 2018, 第 2 作者（12） Swing arm profilometer: high accuracy testing for large reaction-bonded silicon carbide optics with a capacitive probe, Optical Engineering, 2017, 第 4 作者（13） Hybrid-level Fresnel zone plate for diffraction efficiency enhancement, Optics Express, 2017, 第 1 作者（14）高衍射效率衍射望远镜系统的设计/加工及成像性能测试, 光子学报, 2017, 第 2 作者（15）激光直写机床导轨正交性误差影响下计算全息图位相分析, 光学学报, 2016, 第 2 作者（16） Effects of fabrication errors on diffraction efficiency for a diffractive membrane, Chinese Optics Letters, 2016, 第 2 作者（17） High-performance grinding of a 2-m scale silicon carbide mirror blank for the space-based telescope, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2016, 第 1 作者（18）离轴非球面SiC反射镜的精密铣磨加工技术, 机械工程学报, 2013, 第 1 作者（19） Micro-cutting characteristics of EDM fabricated high-precision polycrystalline diamond tools, International Journal of Machine Tools & Manufacture, 2013, 第 1 作者（20） Study on tool wear characteristics in diamond turning of reaction-bonded silicon carbide, The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2011, 第 1 作者（21） Mechanism formaterialremovalindiamondturningofreaction-bonded silicon carbide, International Journal of Machine Tools & Manufacture, 2009, 第 2 作者

学术兼职

2020-05-31-今,中国光学工程学会青年专家委员会, 委员 2020-05-25-2025-05-25,全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会, 委员