个人简介
教育背景
2002-03--2004-07 中国科学院大学 博士
1998-09--2001-07 吉林大学 硕士
1990-08--1991-07 复旦大学 进修
1980-09--1984-07 内蒙古民族大学 学士
工作简历
2002-03~现在, 中科院长春光机所, 研究员
教授课程
高等电磁场理论
奖励与荣誉
（1） 全国民族团结进步模范个人, , 国家级, 2019
（2） 中国产学研合作创新奖, 部委级, 2018
（3） 享受国务院政府特殊津贴专家, 国家级, 2018
（4） 中国科学院特聘研究员, , 院级, 2017
（5） 吉林省拔尖创新人才第一层次人选, , 省级, 2017
（6） 大面积高精度衍射光栅刻划机关键技术, 一等奖, 省级, 2017
（7） 中国科学院优秀共产党员, , 院级, 2016
（8） 长春市有突出贡献专家, 市地级, 2015
（9） 中国科学院长春分院优秀党务工作者, , 市地级, 2011
（10） 平面全息离子束刻蚀光栅研制, 一等奖, 省级, 2011
（11） 中国科学院院长奖, , 院级, 2004
专利成果
（ 1 ） 凹面光栅制作光路中测量波源点与毛坯中心点距离的方法, 发明, 2009, 第 3 作者, 专利号: CN200610016901.5
（ 2 ） 一种带有CCD多色器的光栅衍射效率测试仪, 发明, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN200810187614.X
（ 3 ） 全息光栅制作中实时监测曝光量的方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN200810187608.4
（ 4 ） 一种凹面光栅衍射效率的测试方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN201010277313.3
（ 5 ） 用于离轴同心光学系统中同心光学元件的同心装配方法, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN201010604118.7
（ 6 ） 一种确定凹面全息光栅制作光路中两激光束夹角的方法, 发明, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN200610016902.X
（ 7 ） 一种采用复制技术制作非球面镜的工艺方法, 发明, 2009, 第 3 作者, 专利号: CN200710056041.2
（ 8 ） 凹面全息光栅制作中光栅基底的双光束定位方法, 发明, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN200910217813.5
（ 9 ） 一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法, 发明, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN201010172802.2
（ 10 ） 平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法, 发明, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN200910217814.X
（ 11 ） 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN201010599705.1
（ 12 ） 一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN201010599714.0
（ 13 ） 一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN201010599560.5
（ 14 ） 一种凹面光栅衍射效率测试仪的光路结构, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN201010277331.1
（ 15 ） 一种凸面光栅成像光谱仪的装配方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN201010604099.8
（ 16 ） 一种中阶梯光栅光谱仪的装调方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN201110075668.9
科研项目
（ 1 ） 大面积光栅纳米精度制造中的基础问题研究、1500万元, 主持, 国家级, 2014-01--2018-08
（ 2 ） 1.5米扫描干涉场曝光系统（国家自然科学基金委：国家重大科研仪器设备研制专项），8300万元, 主持, 国家级, 2013-01--2019-12
（ 3 ） 大型高精度衍射光栅刻划系统的研制（财政部：国家重大科研装备研制项目），11835万元, 主持, 国家级, 2009-01--2014-12
（ 4 ） 大型高精度衍射光栅刻划机的研制（吉林省科技发展计划“双十工程”重大科技攻关项目），300万元, 主持, 省级, 2009-09--2014-12
（ 5 ） 曲面闪耀全息光栅离子束刻蚀机（中科院重大科研装备研制项目），594万元, 参与, 部委级, 2010-07--2012-06
（ 6 ） PCG光栅的扫描干涉场曝光制、40万元, 主持, 部委级, 2011-05--2013-04
（ 7 ） 大口径、高阈值光栅制造工艺、80万元, 主持, 国家级, 2011-01--2013-06
（ 8 ） 高端全息光栅研发（科技部：国家重大科学仪器设备开发专项），3780万元, 参与, 国家级, 2012-01--2016-06
（ 9 ） 大面积高精度中阶梯光栅常温固化复制系统研制、 929万元, 主持, 部委级, 2017-05--2019-05
（ 10 ） 高端衍射光栅的产品化与应用推广、600万元, 主持, 部委级, 2018-01--2019-06
（ 11 ） 高精度特种光栅研发，1000万元, 主持, 国家级, 2020-01--2021-12
（ 12 ） 软X射线临界角单晶硅透射光栅研制技术，700万元, 主持, 部委级, 2018-12--2021-12
项目协作单位
1、中国科学技术大学
2、合肥工业大学
3、长春理工大学
4、长春奥普光电技术股份有限公司
5、北京普析通用仪器有限责任公司
5、北京钢研纳克有限责任公司
6、上海天美科学仪器有限公司
7、江苏天瑞仪器股份有限公司
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（1） The effect of ultrasonic vibration and surfactant additive on fabrication of 53.5 gr/mm silicon echelle grating with low surface roughness in alkaline KOH solution, ULTRASONICS SONOCHEMISTRY, 2018, 第 5 作者
（2） Development of a spatial heterodyne Raman spectrometer with echelle-mirror structure, OPTICS EXPRESS, 2018, 第 10 作者
（3） 基于中阶梯光栅光谱仪的激光诱导等离子体分析系统研究, 光谱学与光谱分析, 2018, 通讯作者
（4） 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测, 光学精密工程, 2017, 第 3 作者
（5） 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定, 中国激光, 2017, 第 4 作者
（6） 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统, 中国光学, 2017, 第 3 作者
（7） 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制, 光学学报, 2017, 通讯作者
（8） 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计, 中国激光, 2017, 通讯作者
（9） Offner成像光谱仪的消像差技术, 光学精密工程, 2017, 第 3 作者
（10） 基于数字微镜器件的中阶梯光栅光谱仪的光学系统设计, 光学精密工程, 2017, 通讯作者
（11） 基于傅里叶光学原理的新型凹面光栅衍射效率测量方法, 光谱学与光谱分析, 2017, 第 4 作者
（12） Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model, OPTICS EXPRESS, 2017, 通讯作者
（13） Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography, APPLIED OPTICS, 2017, 通讯作者
（14） Two-color heterodyne laser interferometry for long-distance stage measurement with correction of uncertainties in measured optical distances, SCIENTIFIC REPORTS, 2017, 第 3 作者
（15） Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography, APPLIED OPTICS, 2017, 第 3 作者
（16） 紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计, 光谱学与光谱分析, 2017, 通讯作者
（17） Establishment and correction of an Echelle cross-prism spectrogram reduction model, OPTICS COMMUNICATIONS, 2017, 通讯作者
（18） Dual-drive long-travel precise positioning stage of grating ruling engine, INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2017, 第 3 作者
（19） C-T型棱镜透射式中阶梯光栅光谱仪谱图还原模型, 光学学报, 2016, 通讯作者
（20） 中阶梯光栅光谱仪的多谱线联合在线定标方法, 光学学报, 2016, 通讯作者
（21） 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析, 中国激光, 2016, 通讯作者
（22） Measuring method of diffraction efficiency for plane grating based on Fourier spectral technology, APPLIED OPTICS, 2016, 第 5 作者
（23） 在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿, 光谱学与光谱分析, 2016, 通讯作者
（24） High-accuracy spectral reduction algorithm for the echelle spectrometer, APPLIED OPTICS, 2016, 通讯作者
（25） 基于离轴两反利特罗结构的棱镜高光谱成像系统的光学设计, 光谱学与光谱分析, 2016, 第 3 作者
（26） Wavelength calibration model for prism-type echelle spectrometer by reversely solving prism's refractive index in real time, APPLIED OPTICS, 2016, 通讯作者
（27） 中阶梯光栅光谱仪谱图背景去除算法, 光谱学与光谱分析, 2016, 通讯作者
（28） 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测, 光学精密工程, 2016, 通讯作者
（29） Ruling of echelles and gratings with a diamond tool by the torque equilibrium method, APPLIED OPTICS, 2016, 第 6 作者
（30） Moire alignment algorithm for an aberration-corrected holographic grating exposure system and error analysis, APPLIED OPTICS, 2016, 通讯作者
（31） 自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅, 光学精密工程, 2015, 通讯作者
（32） 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱仪, 光学精密工程, 2015, 第 1 作者
（33） 小型高光谱分辨率光栅单色仪的研制, 光谱学与光谱分析, 2015, 第 3 作者
（34） 基于杠杆模式施载的圆弧刃光栅刻画刀具刃磨机床研制, 机械工程学报, 2015, 第 5 作者
（35） 光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计, 光学学报, 2015, 通讯作者
（36） 极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计, 光学学报, 2015, 通讯作者
（37） 平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析, 中国光学, 2015, 通讯作者
（38） 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析, 中国激光, 2015, 第 5 作者
（39） 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法, 光学学报, 2015, 通讯作者
（40） 新型便携式中阶梯光栅光谱仪光学设计与消杂散光研究, 光学学报, 2015, 第 4 作者
（41） 基于谱图还原的中阶梯光栅光谱仪有效波长提取算法, 光谱学与光谱分析, 2015, 通讯作者
（42） 基于谱图还原的中阶梯光栅光谱仪有效波长提取算法, 光谱学与光谱分析, 2015, 通讯作者
（43） Practical method study on correcting yaw error of 500 mm grating blank carriage in real time, APPLIED OPTICS, 2015, 第 8 作者
（44） Establishment and experimental verification of the photoresist model considering interface slip between photoresist and concave spherical substrate, AIP ADVANCES, 2015, 通讯作者
（45） 凸面光栅成像光谱仪全视场自动化光谱定标系统设计, 光学技术, 2014, 通讯作者
（46） 光栅刻划机300 mm行程工作台研制及其自适应控制方法, 中国激光, 2014, 通讯作者
（47） 非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析, 中国激光, 2014, 通讯作者
（48） 棱镜-光栅组合色散型超光谱成像系统的优化设计, 光学学报, 2014, 通讯作者
（49） 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响, 光学学报, 2014, 通讯作者
（50） 光谱宽度与光束截面因子对平面光栅衍射效率测量的影响, 光学精密工程, 2014, 通讯作者
（51） Model Design and Stray Light Suppression Technology of Stray-Light Testing Equipment for Plane Grating, SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS, 2014, 通讯作者
（52） The effects of ultrasound frequency and power on the activation energy in Si-KOH reaction system, CHINESE CHEMICAL LETTERS, 2014, 通讯作者
（53） 基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正, 光学精密工程, 2014, 第 6 作者
（54） Full-Field and Automatic Methodology of Spectral Calibration for PGP Imaging Spectrometer, SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS, 2014, 通讯作者
（55） 棱镜-光栅-棱镜分光模块整体化设计及衍射特性分析, 光谱学与光谱分析 , 2014, 通讯作者
（56） 非均匀膨胀与收缩下反射体全息光栅衍射特性分析, 中国激光, 2014, 通讯作者
（57） 移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计, 光学精密工程, 2014, 第 2 作者
（58） 基于悬臂梁称重传感器的圆弧刀研磨力测量仪设计, 传感器与微系统, 2014, 第 2 作者
（59） Numerical simulation of ultrasonic enhancement on mass transfer in liquid–solid reaction by a new computational model, Ultrasonics Sonochemistry, 2014, 通讯作者
（60） 超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响, 光学学报, 2014, 通讯作者
（61） 平面光栅杂散光测试仪模型设计及消杂光技术研究, 光谱学与光谱分析, 2014, 通讯作者
（62） 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期测量误差对光栅掩模槽形的影响, 光学学报, 2014, 通讯作者
（63） The effects of ultrasound frequency and power on the activation energy in Si–KOH reaction system, Chinese Chemical Letters, 2014, 通讯作者
（64） 平面光栅杂散光测试仪模型设计及消杂光技术研究, 光谱学与光谱分析, 2014, 通讯作者
（65） 大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制, 仪器仪表学报, 2014, 第 4 作者
（66） 球差在平场全息凹面光栅设计中的作用, 激光与光电子学进展, 2013, 通讯作者
（67） 双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪, 光学学报, 2013, 通讯作者
（68） 机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法, 中国激光, 2013, 第 2 作者
（69） A Portable Echelle Spectrograph Design for Laser-induced Breakdown Spectroscopy, Chinese Journal of Luminescence, 2013, 第 3 作者
（70） 基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅, 光学精密工程, 2013, 通讯作者
（71） 中阶梯光栅光谱仪快速设计与谱图分析数学模型, 光学学报, 2013, 第 2 作者
（72） 凹面光栅衍射效率测量值的影响因素及补偿方法研究, 光谱学与光谱分析, 2013, 通讯作者
（73） 基于图像复原的高光谱图像前向像移补偿, 中国光学, 2013, 通讯作者
（74） 莫尔条纹法精确控制全息光栅光栅常数的研究, 仪器仪表学报, 2013, 第 3 作者
（75） 凸面光栅成像光谱仪的研制与应用, 光学精密工程, 2012, 第 3 作者
（76） 利用泽尼克系数求取衍射光栅的分辨本领, 光谱学与光谱分析, 2012, 第 3 作者
（77） 用于水果品质检测的小型成像光谱仪, 光谱学与光谱分析, 2012, 第 4 作者
（78） 小型宽波段凹面全息光栅单色仪的优化设计, 光学学报, 2012, 通讯作者
（79） 零像散宽波段平场全息凹面光栅的优化设计, 光谱学与光谱分析, 2012, 通讯作者
（80） 红外成像光谱测量中Dyson光学系统的研究进展, 光谱学与光谱分析, 2012, 第 3 作者
（81） 全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律, 光学学报, 2012, 通讯作者
（82） 中阶梯光栅光谱仪信号光斑位置的质心提取算法, 光谱学与光谱分析, 2012, 第 3 作者
（83） 平面光栅双单色仪的光学系统设计, 光谱学与光谱分析, 2012, 通讯作者
（84） 凸面光栅成像光谱仪图像数据实时压缩技术, 光谱学与光谱分析, 2012, 通讯作者
（85） Czerny-Turner正交型光栅单色仪的波长校准, 光谱学与光谱分析, 2012, 通讯作者
（86） 基于预测与JPEG2000的高光谱图像无损压缩方法, 激光与红外, 2012, 通讯作者
（87） 全息光栅曝光系统中空间滤波器孔径与激光束腰关系的选择方法, 物理学报, 2012, 通讯作者
（88） 凹面光栅衍射效率测试仪精度分析和优化, 光学精密工程, 2012, 第 3 作者
（89） 全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响, 光学学报, 2012, 通讯作者
（90） 高分辨率中阶梯光栅光谱仪精确装调与标定, 光谱学与光谱分析, 2012, 通讯作者
（91） 闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证, 光学精密工程 , 2012, 第 3 作者
（92） 用于红外晶体双折射测量的单1/4波片法, 光学精密工程 , 2012, 第 4 作者
（93） 刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法, 光学学报, 2012, 第 2 作者
（94） 基于Dyson同心光学系统的消色差 Féry棱镜高光谱成像仪的设计, 光学学报, 2012, 第 3 作者
（95） 全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律, 光学精密工程 , 2012, 通讯作者
（96） 轻小型中阶梯光栅光谱仪光学设计及性能分析, 光谱学与光谱分析, 2012, 第 4 作者
（97） 双光栅平场全息凹面光栅光谱仪的优化设计, 光学学报, 2011, 通讯作者
（98） 宽波段全息罗兰光栅的优化, 中国激光, 2011, 通讯作者
（99） 曲率半径误差对平场全息凹面光栅分辨率的影响及其补偿方法, 光谱学与光谱分析, 2011, 通讯作者
（100） I型全息凹面光栅制作误差对光谱像的影响分析, 光子学报, 2011, 通讯作者
（101） 平面光栅效率仪测量过程分析与结果修正, 光学学报, 2011, 通讯作者
（102） 平场全息凹面光栅结构参量误差之间的补偿作用, 光学学报, 2011, 通讯作者
（103） 凸面光栅成像光谱仪干涉法装调, 光学精密工程, 2011, 第 2 作者
（104） 一步法设计单色仪凹面全息光栅, 光谱学与光谱分析, 2011, 通讯作者
（105） Ⅳ型凹面全息光栅参数误差对光谱性能的影响及补偿, 光学学报, 2011, 通讯作者
（106） 平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法, 光学学报, 2011, 通讯作者
（107） Merit function to design holographic gratings for moderate- resolution monochromators, APPLIED OPTICS, 2011, 通讯作者
（108） 全息光栅非对称曝光显影的理论模拟及实时监测, 光学学报, 2010, 通讯作者
（109） 非异常区TM偏振波宽波段特性在激光器调谐光栅设计中的应用, 光学精密工程, 2010, 通讯作者
（110） 紫外全息闪耀光栅的制作, 光学精密工程, 2010, 第 3 作者
（111） 中阶梯光栅光谱仪的光学设计, 光学精密工程, 2010, 第 3 作者
（112） 中阶梯光栅光谱仪的谱图还原与波长标定, 光学精密工程, 2010, 第 3 作者
（113） 制作平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉系统, 光学精密工程, 2010, 第 1 作者
（114） 宽波段金属光栅设计中闪耀波长对光栅异常的补偿效应, 光学精密工程, 2009, 通讯作者
（115） 基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制, 光学精密工程, 2009, 通讯作者
（116） 高速便携式近红外光栅光谱仪光电系统设计, 中国光学与应用光学, 2009, 通讯作者
（117） 紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测试, 光学精密工程, 2009, 第 1 作者
（118） 微型平像场近红外光谱仪的消杂散光设计, 中国光学与应用光学, 2009, 第 3 作者
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