个人简介
个人简介
1961年出生于陕西省西安市,籍贯四川省成都市。
1982年毕业于成都电讯工程学院(现电子科技大学)化学师资班、获理学学士学位,2012年在西安电子科技大学获微电子学与固体电子学工学博士学位。现任西安电子科技大学微电子学院教授、博士生与硕士生导师。
科学研究
目前研究团队承担的科研项目:
主持或参加了军事电子预研、国家自然科学基金、武器装备预研、武器装备预研基金等21多项重要科研项目,完成17项,在研4项。总经费800多万元,其中主持科研7项,总经费300余万元。在主持的国防重点实验室基金"SiGe/Si材料杂质浓度表征及工艺控制"项目研究中,提出了四探针法测量SiGe掺杂浓度的新方法,并获国家发明专利,至今尚未见国内外报道。
学术论文
在APEX、ChinesePhysicsB、物理学报、电子学报、半导体学报等核心刊物及国内外会议发表学术论文80余篇(其中SCI、EI检索60余篇)。
获教育部高校科研优秀成果奖(科学技术)-科技进步奖二等奖1项,陕西省教委及西安电子科技大学优秀科技成果奖等5项,获陕西省自然科学优秀论文奖3项,获国家发明专利21项(第一发明人7项)及实用新型专利3项(第一发明人1项)。
荣誉获奖
2015年,荣获西安电子科技大学十大师德标兵称号。
课程教学
目前本人承担的教学任务:
主讲《原子物理》、《微电子工艺基础》、《集成电路制造技术》、《微电子工艺实习》、《微电子技术新进展》、《研究生专业实验》等本科、研究生课程
研究领域
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1)硅基应变理论与技术;2)新型半导体器件与集成电路技术;3)半导体材料生长动力学与缺陷行为;4)化合物半导体材料。
学术兼职
院学位委员会委员,IEEE会员,中国电子学会高级会员,陕西省真空学会常务理事