个人简介

方晓东，男，1963年生，博士，中科院合肥研究院安徽光机所研究员，博士生导 师。1985年毕业于合肥工业大学，获应用物理理学学士学位，1991年在中科院安 徽光机所获光学专业理学硕士学位，2000年在日本大阪大学获工学博士学位。先 后在日本大阪大学做访问学者和客座教授，也曾就职于日本日立公司从事半导体 器件和工艺的研发。现任中国感光学会常务理事、中国光刻产业联盟理事、安徽生物医学工程学会副理事 长、安徽省光学学会理事，2004年入选中科院“百人计划”。

研究领域

激光技术/器件/应用，无机功能薄膜材料与器件, 激光装备研发，具体内容为：准分子激光器件及应用，激 光医疗仪器，准分子激光设备，半导体器件，半导体集成电路光刻光源设备，太阳能电池，半导体材料及 传感器，紫外激光与材料相互作用

课题项目： 主持了国家科技重大专项课题、国家自然科学基金、国家重大科研仪器研制等项目。

近期论文

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以第一作者或通讯作者身份已发表SCI论文100余篇，申请发明专利20余项，率领团队研制和开发了一批准 分子激光工业、医疗及科研设备，研制了国内首台用于90nm半导体集成电路光刻机光源的高重频电源系统