个人简介
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
光电探测器
短波红外焦平面
微型近红外光谱仪
教育背景
2006-04--2009-01 中科院上海技术物理研究所 博士
2000-09--2016-06 华中科技大学 硕士
1996-09--2016-06 山东大学 学士
工作简历
2003-07~现在, 中科院上海技术物理研究所, 研究员
专利成果
( 1 ) 一种应用于线列红外焦平面探测器的高稳定性倒焊基板, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201110174762.X
( 2 ) 一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201210431102.X
( 3 ) 一种短波红外多通道集成光谱组件, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201510864335.2
( 4 ) 一种单片集成在高折射率衬底的亚波长金属光栅偏振片, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: 201510295974.1
( 5 ) 一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器及制备方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201410748529.1
( 6 ) 一种改善表面钝化的平面型铟镓砷光敏芯片及制备方法, 发明, 2016, 第 5 作者, 专利号: 201410748528.7
( 7 ) 一种低损伤的铟镓砷探测器p+n结制备方法, 发明, 2017, 第 5 作者, 专利号: 201510296103.1
( 8 ) 一种铟镓砷短波红外探测器, 发明, 2017, 第 4 作者, 专利号: 201610407146.7
( 9 ) 一种偏置控制双波段InAlAs-InGaAs二极探测器及焦平面阵列, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: 201710387961.6
( 10 ) 一种高增益紫外至近红外InGaAs探测器芯片, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201711275111.3
( 11 ) 一种FTIR测量光电探测器响应的宽谱校正方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810089435.6
( 12 ) 一种大规模小像元铟镓砷焦平面探测器制备方法, 发明, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201811176503.9
( 13 ) 一种正照射型的可见及短波红外宽光谱InGaAs探测器, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201811226467.2
( 14 ) 一种背照射型的可见及短波红外宽光谱InGaAs探测器, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201811226485.0
( 15 ) 一种分子束外延不同类型束源炉参数换算的方法, 发明, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201811274504.7
( 16 ) 一种高密度面阵性能验证的测试结构, 发明, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201811387834.7
( 17 ) 一种用于小间距扩散成结表征的测试结构和测试方法, 发明, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201811387851
( 18 ) 一种用于延伸波长InGaAs焦平面探测器的耦合方法, 发明, 2019, 第 3 作者, 专利号: 201910246114.7
( 19 ) 一种InGaAs雪崩焦平面探测器的串扰抑制结构, 发明, 2019, 第 3 作者, 专利号: 201910246111.3
( 20 ) 一种宽谱InGaAs雪崩焦平面探测器及其制造方法, 发明, 2019, 第 3 作者, 专利号: 201910246107.7
( 21 ) 一种低应力钝化的台面型延伸波长铟镓砷探测器制备方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910030209.5
( 22 ) 原子尺度多层复合膜钝化的延伸波长铟镓砷探测器及方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910030239.6
科研项目
( 1 ) 基于传感器的紫外辐射定标及器件光电等效机理研究, 主持, 国家级, 2008-01--2010-12
( 2 ) 新型热释电材料及其光传感器研究, 参与, 国家级, 2009-01--2012-12
( 3 ) 基于航天应用的材料验证与器件研究, 参与, 国家级, 2012-01--2016-12
( 4 ) 基于阻挡层结构外延材料的InGaAs探测器的可见-短波红外光谱拓展方法研究, 主持, 国家级, 2014-01--2017-12
( 5 ) 快速微型近红外光谱仪的国产化技术研究及其应用, 主持, 省级, 2014-09--2016-09
( 6 ) XXX(MM项目-省略), 主持, 部委级, 2015-05--2017-05
( 7 ) XXX(MM项目-省略), 主持, 国家级, 2016-11--2020-12
( 8 ) XXX(MM项目-省略), 主持, 国家级, 2017-03--2017-12
研究领域
目前主要从事短波红外焦平面探测器的相关研究工作,涉及向可见波段拓展的宽谱段InGaAs焦平面探测器、延伸波长长线列InGaAs焦平面探测器、片上集成微纳结构的新型短波红外InGaAs探测器等。
近期论文
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(1) Dark current and 1/f noise characteristics of In0.74Ga0.26As photodiode passivated by SiNx/Al2O3 bilayer, Infrared Physics & Technology, 2020, 通讯作者
(2) Ultra-low spectral reflectances of InP Mie resonators on an InGaAs/InP focal plane array, AIP Advances, 2020, 通讯作者
(3) Mie-type surface texture integrated visible and short-wave infrared InGaAs/InP focal plane arrays, ACS Applied Electronic Materials, 2020, 通讯作者
(4) Integrating subwavelength polarizers onto InP-InxGa1− xAs sensors for polarimetric detection at short infrared wavelength, Photonics and Nanostructures - Fundamentals and Applications, 2019, 第 6 作者
(5) Research on polarization performance of InGaAs focal plane array integrated with superpixel-structured subwavelength grating, Optics Express, 2019, 第 4 作者
(6) Broadband high quantum efficiency InGaAs/InP focal plane arrays via high precision plasma thinning, Optics Letters, 2019, 通讯作者
(7) Correction of FTIR acquired photodetector response spectra from midinfrared to visible bands using onsite measured instrument function, Infrared Physics & Technology, 2018, 第 2 作者
(8) Short-wave infrared InGaAs photodetectors and focal plane arrays, Chinese Physics B, 2018, 第 3 作者
(9) IGA-rule 17 for performance estimation of wavelength-extended InGaAs photodetectors: validity and limitations, Applied Optics, 2018, 第 6 作者
(10) Electron-initiated low noise 1064 nm InGaAsP/InAlAs avalanche photodetectors, Optics Express, 2018, 第 8 作者
(11) Measuring the Minority-Carrier Diffusion Length of n-Type In0.53Ga0.47As Epilayers Using Surface Photovoltage, Journal of Electronic Materials, 2017, 第 5 作者
(12) Noise characteristics analysis of short wave infrared InGaAs focal plane arrays, Infrared Physics & Technology, 2017, 第 5 作者
(13) 一种新型单片集成光谱传感器的波长定标方法(英文), 红外与毫米波, 2017, 通讯作者
(14) Design of fiber-optic collector for spectrometer based on curved mirror, Journal of Measurement Science and Instrumentation, 2017, 第 3 作者
(15) n-on-p结构深台面延伸波长InGaAs探测器的ICPCVD钝化工艺, 红外与毫米波学报, 2016, 第 2 作者
(16) 高性能短波红外InGaAs焦平面探测器研究进展, 红外技术, 2016, 第 1 作者
(17) 可见增强的32 × 32 元平面型InGaAs /InP面阵探测器, 红外与毫米波学报, 2015, 第 2 作者
(18) Role of dielectric film in metal grating for improved polarized transmittance in 0.9–1.7μm range, Japanese Journal of Applied Physics, 2015, 第 3 作者
(19) The simulation of localized surface plasmon and surface plasmon polariton in wire grid polarizer integrated on InP substrate for InGaAs sensor, AIP Advances, 2015, 第 3 作者
(20) Subwavelength Gold Grating as Polarizers Integrated with InP-Based InGaAs Sensors, ACS Applied Materials & Interfaces, 2015, 第 3 作者
(21) Low leakage of In0.83Ga0.17As photodiode with Al2O3/SiNx stacks, Infrared Physics & Technology, 2015, 第 3 作者
(22) Interface property of silicon nitride films grown by inductively coupled plasma chemical vapor deposition and plasma enhanced chemical vapor deposition on In0.82Al0.18As, Infrared Physics & Technology, 2015, 第 3 作者
(23) 不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究, 红外与毫米波学报, 2014, 第 4 作者
(24) Inductively coupled plasma chemical vapor deposition silicon nitride for passivation of In0.83Ga0.17As photodiodes, Infrared Physics & Technology, 2014, 第 2 作者
(25) Design and thermal analysis of electrically calibrated pyroelectric detector, Physics and Technology, 2012, 第 1 作者
(26) The study of carbon nanotubes as coating films for electrically calibrated detectors, Measurement Science and Technology, 2012, 第 1 作者
(27) 基于弛豫铁电单晶的红外热释电探测器研究, 光电子.激光, 2012, 第 2 作者
(28) 基于弛豫铁电单晶的热释电焦平面研究, 光电工程, 2011, 第 1 作者
(29) 近红外256×1元InGaAs焦平面探测器无效像元研究, 红外与毫米波学报, 2011, 第 2 作者
(30) 平面型24元InGaAs短波红外探测器, 红外技术, 2011, 第 1 作者
(31) 高精度紫外探测器定标测试方法, 航天器环境工程, 2010, 第 1 作者
(32) 一种紫外焦平面探测器电流响应率测试方法, 光学学报, 2009, 第 1 作者
(33) GaN 基512×1元紫外长线列焦平面探测器组件, 光学学报, 2009, 第 3 作者
(34) GaN基紫外探测器的电子辐照效应, 红外与激光工程, 2008, 第 2 作者
(35) Electrically calibrated pyroelectric detector for high-accuracy calibration of UV radiation, Pro. Of SPIE, 2007, 第 1 作者
学术兼职
2017-06-17-2022-06-17,中国光学学会, 理事
2015-03-15-2019-12-31,中国光学学会红外与光电器件专业委员会, 委员、秘书长