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招生专业 080903-微电子学与固体电子学 招生方向 光学MEMS技术 MEMS执行器 MEMS传感器 专利成果 （ 1 ） 高精度光学波长参考标准具, 2017, 第 1 作者, 专利号: 91310114067803422B （ 2 ） 微机电光学波长参考标准具, 2017, 第 1 作者, 专利号: 91310114067803422B （ 3 ） 光学相位调制器及其制造方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 91310114067803422B 科研项目 （ 1 ） 微反射镜阵列单元研制, 主持, 国家级, 2018-01--2020-12 （ 2 ） 大尺寸MEMS激光相控阵器件研制, 主持, 国家级, 2020-01--2021-09