个人简介
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
082703-核技术及应用
080502-材料学
招生方向
SOI材料
异质集成材料
离子束技术
教育背景
2007-03--2009-04 德国德累斯顿Rossendorf研究中心 联合培养博士生
2006-04--2009-07 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 博士
2003-09--2006-03 浙江大学 硕士
1999-09--2003-07 合肥工业大学 学士
工作简历
2015-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 研究员
2009-07~2014-12,德国亥姆霍兹德累斯顿Rossendorf研究中心, 博士后,Research Scientist
2009-07~2010-02,德国马普微结构物理研究所, 博士后
奖励信息
(1) 国际IBMM奖, 一等奖, 其他, 2016
(2) 欧洲材料大会“最佳墙报奖”, 一等奖, 其他, 2013
(3) 德国亥姆霍兹-德累斯顿研究中心“年度研究奖”, 一等奖, 研究所(学校), 2011
(4) 中科院优秀博士论文, 一等奖, 部委级, 2011
(5) 国际离子注入技术大会“青年学者奖”, 一等奖, 其他, 2010
专利成果
( 1 ) 制备绝缘体上硅材料的内热氧化方法, 发明, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN200810202084
( 2 ) Integrated non volatile memory elements, design and use, 发明, 2013, 第 5 作者, 专利号: 2013017131A3
( 3 ) 一种大面积纳米阵列的制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN 201510274630
( 4 ) 一种纳米图形化技术, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN201510275200
发表著作
(1) Subsecond Annealing of Advanced Materials, Springer, 2014-01, 第 5 作者
科研项目
( 1 ) 基于离子束技术的信息材料制备与改性研究, 主持, 国家级, 2017-01--2019-12
( 2 ) 中科院****择优支持, 主持, 部委级, 2016-01--2018-12
( 3 ) 第三代半导体的衬底制备及同质外延, 主持, 国家级, 2017-06--2021-07
( 4 ) 高纯SiC衬底制备与离子束剥离研究, 主持, 省级, 2017-06--2020-07
( 5 ) 硅基GaN材料表征, 主持, 院级, 2017-06--2018-07
( 6 ) 高性能无源敏感薄膜材料Si基异质集成方法及传感器芯片研究, 参与, 国家级, 2017-06--2020-07
参与会议
(1) “Reverse Epitaxy with low energy ion irradiation: Mechanism, Experiments and Applications” 2016-10-30
(2)Ion-Surface interaction in reverse epitaxy 2015-12-08
(3)“Reverse epitaxy” 2015-10-24
研究领域
主要从事先进SOI及XOI异质集成材料技术、载能离子束与材料和器件相互作用、纳米材料与器件等
近期论文
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(1) Defect formation in MeV H+ implanted GaN and 4H-SiC investigated by cross-sectional Raman spectroscopy, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B, 2017, 通讯作者
(2) Resistive switching behavior in single crystal SrTiO3 annealed by laser, Applied surface science, 2016, 第 8 作者
(3) Rectifyin filamentary resistive switching in ion-exfoliated LiNbO3 thin films, Applied Physics Letters, 2016, 第 9 作者
(4) Faceted nanostructure arrays with extreme regularity by self-assembly of vacancies, Nanoscale, 2015, 第 1 作者
(5) Engineering interface-type resistive switching in BiFeO3 thin film switches by Ti implantation of bottom electrodes, Scientific Reports, 2015, 第 2 作者
(6) Reverse epitaxy of Ge: ordered and facetted surface patterns, Physical Review Letters, 2013, 第 1 作者
(7) Forming-free resistive switching in multiferroic BiFeO3 thin films with enhanced nanoscale shunts, ACS Applied Materials & Interfaces, 2013, 第 1 作者
(8) Release of helium from vacancy defects in yttria-stabilized zirconia under irradiation, Physical Review B, 2012, 第 1 作者
(9) Carrier Profiling of Individual Si Nanowires by scanning spreading resistance microscopy, Nano Letters, 2010, 第 1 作者
(10) Three-Dimensional Carrier Profiling of Individual Si Nanowires by scanning spreading resistance microscopy, Advanced Materials, 2010, 第 1 作者
学术兼职
2017-06-16-2021-06-09,上海市半导体材料专业委员会, 委员
2016-08-31-2018-08-31,国际期刊Scientific Reports, 编委
2015-04-08-2019-04-08,核心电子材料与器件协同创新中心, 学术委员会委员