戈肖鸿 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 -

个人简介

戈肖鸿，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员级高级工程师。在昆明理工大学取得硕士学位，一直在传感技术国家重点实验室从事MEMS工艺技术工作，具有丰富的微电子及微机械工艺制备经验。于1992年8月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所。获上海市科技进步二等奖一项“氧传感器微型化技术研究及其在医学和环保中的应用”（1999年度），获得上海市技术发明二等奖一项“MEMS关键设计与制造技术及应用”（2006年度）。获二项发明专利，2010年入选中科院关键技术人才项目。

研究领域

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戈肖鸿长期从事MEMS/NEMS传感器领域的工艺技术工作，在传感技术、MEMS工艺等领域取得多项成果。