个人简介
先后参加了光纤传像望远镜/潜望镜系统、眼科手术显微镜、系列高档手术显微镜、亚微米投影光刻物镜、紫外成像物镜、红外成像物镜、观测设备等系统设计工作,主持完成了我国首台波长达100微米的远红外光栅光谱仪的研制工作。对普通非球面和特种非球面、衍射光学元件的应用做了深入的研究,通过自定义非球面面型设计完成了超大视场紧凑型单片fθ镜头,目前从事红外探测技术、先进光刻技术等多项国家高技术课题的研究工作,完成多项研究成果,其中获中科院科技进步一等奖1项,二等奖1项、三等奖1项,在国内外发表论文32篇,申请发明专利11项,合著专著1本。
招生方向
应用光学
光学仪器
微电子光学
教育背景
1995-06--1996-09 大学 日本进修
1985-09--1988-06 中国科学院光电技术研究所 硕士
1981-09--1985-06 华中科技大学 学士
工作简历
1999-10~现在, 中国科学院光电技术研究所, 室主任
1996-10~1999-09,日本非球面公司, 工程师
1988-07~1995-05,中国科学院光电技术研究所, 副研究员
专利成果
( 1 ) 一种精密夹具, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201210103829.5
( 2 ) 一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410499948
( 3 ) 一种光学变形镜系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510059382
( 4 ) 一种移动平台, 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: 201210133515.X
( 5 ) 一种光束偏振度测量装置和方法 , 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: 201410503691.7
( 6 ) 一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510189200.0
( 7 ) 一种高分辨率投影光学系统, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201210132632.4
( 8 ) 一种非球面光刻耦合物镜 , 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201310178870.3
( 9 ) 一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 , 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201310390028.6
( 10 ) 一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410024170.3
( 11 ) 一种激光准直扩束系统, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410019186.5
( 12 ) 一种偏振纯化装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410289361.2
( 13 ) 一种投影光学系统 , 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201210360715.9
发表著作
(1) 光学投影曝光微纳加工技术, 无, 北京工业大学出版社, 2006-12, 第 3 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) 02专项, 主持, 国家级, 2009-07--2016-06
研究领域
主要从事各种光学系统、光学镜头、光学仪器的研究开发工作
近期论文
查看导师新发文章
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(1) 国外高变焦比中波红外镜头的研究进展, 红外与激光工程, 2015, 第 2 作者
(2) 国外红外光谱连续变焦成像系统的研究进展, 光谱学与光谱分析, 2014, 第 2 作者
(3) 铝镜消应力支撑及SPDT辅助装配设计, 光电工程, 2014, 第 2 作者
(4) 薄型折反系统布局及金属主镜安装影响分析, 红外与激光工程, 2014, 第 2 作者
(5) 微反射镜阵列在光束整形中的应用, 红外与激光工程, 2014, 第 2 作者
(6) 小型一体式次镜支架结构优化设计, 红外与激光工程, 2014, 第 2 作者
(7) 具有变视场性能的中红外光谱系统设计与研究, 光谱学与光谱分析, 2014, 第 2 作者
(8) 长焦距高分辨率红外两档变焦光学系统设计, 红外与激光工程, 2014, 第 2 作者
(9) Two-dimension lateral shearing interferometry for microscope objective wavefront metrology, SPIE, 2014, 第 2 作者
(10) Design of twin computer-generated hologram for absolute testing of aspheric surfaces, SPIE, 2014, 第 3 作者
(11) The impact of polarization on grating performance of the lateral shearing interferometer, SPIE, 2014, 第 3 作者
(12) Aberration functions expanding in Zernike polynomial for lithographic lens, SPIE , 2014, 第 3 作者
(13) Source optimization using simulated annealing algorithm, SPIE , 2014, 第 2 作者
(14) Dynamic compensation for the lithographic object lens, SPIE, 2014, 第 2 作者
学术兼职
所学术委员会委员,所学位委员会委员,国家重大科技专项专家组专家