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个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 080402-测试计量技术及仪器 085400-电子信息 招生方向 光学精密测量 激光测量技术 集成电路先导工艺技术 教育背景 2004-09--2009-06 清华大学 博士 2000-09--2004-06 清华大学 学士 工作简历 2011-12~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员 2009-07~2011-11,浙江大学, 博士后 2004-09~2009-06,清华大学, 博士 2000-09~2004-06,清华大学, 学士 专利成果 ( 1 ) 一种全穆勒矩阵椭偏仪的校准方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN201310611433.6. ( 2 ) 一种利用全穆勒矩阵椭圆偏振仪进行光学测量的方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN201310611422.8. ( 3 ) 一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN201310611454.8. ( 4 ) 一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN201310624769.6. ( 5 ) 一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN201310611662.8. 科研项目 ( 1 ) 基于光 弹调制的椭偏测量关键技术研究, 主持, 市地级, 2019-06--2021-05 ( 2 ) 面向偏振检测的光弹调制器的研制及在EAST上的实验研究, 参与, 研究所(学校), 2019-07--2021-06 ( 3 ) 快速实时高灵敏度病毒 在线成像检测仪器的研制, 参与, 部委级, 2015-01--2018-12 ( 4 ) 深紫外宽光谱成像型椭圆偏 振光谱仪及石墨烯的光学量测研究, 参与, 部委级, 2014-01--2018-12 ( 5 ) 用于修正三维厚模效应的逆 向光掩模综合方法, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12 ( 6 ) 45-22nm OCD检测系统研发与产业化, 参与, 国家级, 2011-01--2015-12

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(1) 基于倏逝波界面散射的单个纳米颗粒无标记成像, 光学学报, 2018, 第 5 作者 (2) Label-free imaging to single nanoparticle by surface plasmon polariton in-plane scattering, CLEO-PR会议论文集, 2018, 第 4 作者 (3) Label-free imaging to single nanoparticle by using TIR-based interface scattering, JSAP-OSA会议论文集, 2017, 第 4 作者 (4) Imaging to single virus by using surface plasmon polariton scattering, Proc. SPIE, 2017, 第 4 作者 (5) 全反射式宽光谱成像椭偏仪, 光电工程, 2016, 第 4 作者

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