个人简介
招生专业
080300-光学工程
085400-电子信息
招生方向
先进光刻
精密仪器、光刻技术，光学检测
集成电路光刻技术
教育背景
2008-09--2013-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 理学博士学位
2004-09--2008-07 西南大学 理学学士学位
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2016-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 副研究员
2013-10~2016-11,中国科学院光电研究院, 助理研究员
2008-09~2013-07,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 理学博士学位
2004-09~2008-07,西南大学, 理学学士学位
教授课程
光刻技术
奖励信息
（1） 《中国激光》2019年第6期“优秀论文”, 其他, 2019
（2） 《中国激光》2016年第8期“优秀论文”, , 其他, 2015
（3） 2015年度“领跑者5000中国精品科技期刊顶尖学术论文”, , 其他, 2015
专利成果
（ 1 ） 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201110129360.8
（ 2 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201410185411.2
（ 3 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201420224944.2
（ 4 ） 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201410373440.1
（ 5 ） 一种光学系统波像差测量装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201420429293.0
（ 6 ） 光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL201510147724.3
（ 7 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510264841.8
（ 8 ） 光纤点衍射干涉仪等光程位置调整方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL201510147806.8
（ 9 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201520337327.8
（ 10 ） 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201610548151.X
（ 11 ） 一种用于光学传感器测量光路调整的集成调节结构, 2016, 第 4 作者, 专利号: ZL201620733644.6
（ 12 ） 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201611169770.4
（ 13 ） 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201611169812.4
（ 14 ） 激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201611204744.0
（ 15 ） 基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201621424000.5
（ 16 ） 一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201710102163.4
（ 17 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201710242017.1
（ 18 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL201720388229.6
（ 19 ） 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201710242019.0
（ 20 ） 一种光谱共焦测量系统标定装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: ZL201720388267.1
（ 21 ） 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201710247966.9
（ 22 ） 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL201720397461.6
（ 23 ） 一种微位移测量装置与测量方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201710213938.5
（ 24 ） 一种微位移测量装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL201720342171.1
（ 25 ） 用于光学元件性能检测的试验台及试验台安装方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810053466.6
（ 26 ） 光路传输换向装置及光学性能参数检测系统, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810053988.6
（ 27 ） 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810144424.3
（ 28 ） 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置及方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810144422.4
（ 29 ） 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810416485.0
（ 30 ） 投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201810416484.6
（ 31 ） 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810415080.5
（ 32 ） 高稳定偏振保持合束装置及方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911212132.X
（ 33 ） 高稳定低串扰分束装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911212058.1
（ 34 ） 一种多光束合束调节装置及方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110092740.2
（ 35 ） 自参考干涉仪棱镜的退偏补偿方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202011374250.3
（ 36 ） 大口径紧凑型索雷-巴比涅补偿器装置, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202011367433.2
（ 37 ） 一种能够降低光程差的偏振分光棱镜, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202011341828.5
（ 38 ） 一种衍射光栅的设计方法及系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: 202010594125.7
科研项目
（ 1 ） 深紫外纳米精度波像差检测消相干技术研究, 主持, 市地级, 2014-09--2018-12
（ 2 ） 基于光谱共焦法的微位移在线监测技术研究, 主持, 市地级, 2016-01--2018-12
（ 3 ） 投影曝光系统系统参数检测, 参与, 国家级, 2009-07--2020-12
（ 4 ） 投影曝光系统性能检测与评估, 参与, 国家级, 2009-07--2020-12
（ 5 ） 投影曝光系统像质参数检测, 主持, 国家级, 2009-07--2020-12
（ 6 ） 平面光栅位置测量干涉仪信号强度分析检测, 主持, 院级, 2018-01--2018-12
（ 7 ） 浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家级, 2018-01--2020-12
参与会议
（1）The Polarization tracing in Self-Referencing Interferometer for Displacement Measurement 第九届国际先进光学制造与检测学术会议 2020-11-05
（2）Non-paraxial diffraction of tiny pinhole illuminated by partially coherent light 第九届国际先进光学制造与检测学术会议 Lu Zengxiong, Qi Yuejing, Su Jiani, Zhang Qingyang, Li Bing, Yang Guanghua, Qi Wei 2018-06-26
（3）Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, acccuracy evaluation and application 第八届国际先进光学制造与检测学术会议 2016-04-26
（4）Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor 2016-02-21
（5） Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology 2015光学仪器与技术国际会议 2015-05-17
（6）Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor 2015光学仪器与技术国际会议 2015-05-17
（7）A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor 第七届国际先进光学制造与检测学术会议 2014-04-25
（8）Effect of illumination parameters on the quality of wavefront diffracted by pinhole 第七届国际先进光学制造与检测学术会议 2014-04-25
近期论文
查看导师新发文章
（温馨提示：请注意重名现象，建议点开原文通过作者单位确认）
（1） 光束偏振对自参考干涉信号对比度影响分析, Analysis of the Influence of Beam Polarization on the Contrast of Self-Reference Interference Signal, 激光与光电子学进展, 2021, 通讯作者
（2） 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计, Design of linear dispersive objective for chromatic confocal displacement sensor, 中国激光, 2019, 通讯作者
（3） Design of digital light processing mini-projection lens, Proc. SPIE, 2019, 第 4 作者
（4） The angular measurement of the motion direction of the stack motion platform based on the dual-frequency laser interferometer, Proc. SPIE, 2019, 第 4 作者
（5） Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method, Proc. SPIE, 2019, 通讯作者
（6） Non-paraxial diffraction of tiny pinhole illuminated by partially coherent light, Proc. SPIE, 2019, 第 1 作者
（7） Design of a miniature grating displacement sensor with large range, Proc. SPIE, 2019, 第 3 作者
（8） 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, Analysis of Effect of Ambient Temperature Variation on Measurement Accuracy of Shack-Hartmann Wavefront Sensor, 中国激光, 2016, 通讯作者
（9） Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2016, 第 2 作者
（10） Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, acccuracy evaluation and application, Proc. SPIE, 2016, 第 6 作者
（11） 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析, Optimized Analysis of Random Point Array Illumination Source for Nanometer Accuracy Wavefront Error Testing, 光学学报, 2015, 第 1 作者
（12） Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology, Proc. SPIE, 2015, 第 1 作者
（13） Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2015, 第 3 作者
（14） 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析, Analysis of Effect of Numerical Aperture of Illumination Objective Lens on Quality of Wavefront Diffracted by Tiny Pinhole, 中国激光, 2015, 通讯作者
（15） 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究, Research on Focusing Properties of Sub-Wavelength Metal Single-Slit Containing Mental Strip, 激光与光电子学进展, 2014, 第 3 作者
（16） Effect of illumination parameters on the quality of wavefront diffracted by pinhole, Proc. SPIE, 2014, 第 3 作者
（17） A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2014, 通讯作者
（18） Effect of the edge roughness of the pinhole in point diffraction interferometer on light diffraction, Proc. SPIE, 2013, 第 1 作者
（19） 照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析, Rigorous Vector Analysis of the Effect of Illumination Objective Lens Aberration on the Quality of Far-Field Diffracted Wave Front, 光学学报, 2012, 第 1 作者
（20） 极紫外光刻离轴照明技术研究, Study on the Off-Axis Illumination for Extreme Ultraviolet Lithography, 光学学报, 2012, 第 4 作者
（21） 微小孔偏差对远场波前质量影响分析, Analysis of Effect of Tiny Pinhole Deviation on Far-Field Wave-Front Quality, 光学学报, 2011, 第 1 作者
（22） 极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析, Wave-Front Quality Analysis of Three-Dimension Pinhole Vector Diffractional in Extreme Ultraviolet Region, 光学学报, 2010, 第 1 作者
京公网安备 11010802027423号