解婧 - 中国科学院大学

个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085400-电子信息招生方向微纳材料与结构，MEMS，生化检测，集成电路装备，二维材料教育背景 2006-09--2011-07 中国科学院半导体研究所博士学位 2002-09--2006-07 清华大学电子工程系学士学位工作简历 2015-10~现在, 中国科学院大学, 岗位教授 2011-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员 2006-09~2011-07,中国科学院半导体研究所, 博士学位 2002-09~2006-07,清华大学电子工程系, 学士学位教授课程微电子工艺与装备技术半导体工艺与制造技术集成电路制造工艺与设备奖励信息（1）中国科学院微电子研究所2019年度十佳先进工作者, 一等奖, 研究所（学校）, 2019 （2）中国科学院教育教学成果奖, 特等奖, 部委级, 2016 专利成果（ 1 ）利用原子层沉积制备薄膜的方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210552777.X （ 2 ）一种氮化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210545142.7 （ 3 ）一种绝缘体上二维薄膜材料的制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210252143.2 （ 4 ）一种多层石墨烯的减薄方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201210382524.2 （ 5 ）一种利用混合溶剂相剥离石墨制备石墨烯的方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201110428499.2 （ 6 ）一种晶圆级阳极键合方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201110395020.X （ 7 ）一种原位光学检测装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210545135.7 （ 8 ）一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201010235870.9 （ 9 ）石墨烯晶片的制备方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201210009208.0 （ 10 ）采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: 200910081983.5 （ 11 ）大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: 201010235859.2 （ 12 ）一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201210530718.2 （ 13 ）用于N-Zr共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201210531516.X （ 14 ）一种原子层沉积制备施主-受主共掺氧化锌薄膜的方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201210533506.X （ 15 ）原子层沉积的共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201210530523.8 （ 16 ）用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201210531988.5 （ 17 ）基于氮的双受主共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201210530522.3 （ 18 ）用于提高氧化锌薄膜P型稳定性的方法, 2016, 第 5 作者, 专利号: 201210532370.0 （ 19 ）一种P-N共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: 201210530408.0 （ 20 ）一种原子层沉积制备双受主共掺氧化锌薄膜的方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: 201210532041.6 （ 21 ）一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: 201210530408.0 （ 22 ）一种MOS器件原子层沉积原位制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201610982579.5 （ 23 ）一种原子层沉积系统原位实时检测方法及装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201610258332.9 （ 24 ）一种石墨烯表面选区改性加工方法及装置, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201610258555.5 （ 25 ）一种石墨烯薄膜材料的加工方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810548236.7 （ 27 ）一种石墨烯选区刻蚀的方法及装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810557452.8 （ 28 ）一种高精度微流道网络制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201811148758.4 （ 29 ）一种微流道网络芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201811149868.2 （ 30 ）一种基于金属微观结构的精密模具, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910231904.8 （ 31 ）一种微观零件批量精密加工仪器, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201910231902.9 （ 32 ）一种微米级金属件三维成型方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910232149.5 （ 33 ）一种纳米线压力传感器制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911109178.9 （ 34 ）一种纳米线压力传感器及传感器阵列, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911109189.7 （ 35 ）一种温压复合传感器, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911105375.3 （ 36 ）一种温压复合传感器的制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911105796.6 （ 37 ）一种微纳金属三维结构的制备方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910820833.5 （ 38 ）一种微纳金属三维结构的加工仪器, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910814031.3 （ 39 ）一种离子注入制作SERS基底的方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: 201910357475.9 （ 40 ）一种SERS基底, 2019, 第 4 作者, 专利号: 201910357477.8 （ 41 ）一种芯片拉曼信号的检测方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: 201910314129.2 （ 42 ）一种检测拉曼信号的方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: 201910313500.3 （ 43 ）一种细胞样品腔室, 2020, 第 3 作者, 专利号: 201922021105.6 （ 44 ）薄膜旋涂设备, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201930617828.5 科研项目（ 1 ）微纳生化传感材料与器件, 主持, 国家级, 2017-07--2021-06 （ 2 ）双增益原子发射光谱分析仪研制, 主持, 部委级, 2018-01--2019-12 （ 3 ）二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器, 参与, 国家级, 2015-01--2019-12 （ 4 ）扫描探针显微术关键技术研发团队, 主持, 部委级, 2017-05--2020-04 （ 5 ）电化学高强度金属微纳制造工艺研发, 主持, 部委级, 2019-09--2024-08 （ 6 ）金属纳米线微网格阵列研发, 主持, 国家级, 2019-09--2020-12

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（1） In-situ plasmonic tracking oxygen evolution reveals multistage oxygen diffusion and accumulating inhibition, Nature communications, 2021, 第 7 作者（2） The Investigation on the Specificity of Glycated Albumin Aptamer, Basic & Clinical Pharmacology & Toxicology, 2020, 第 2 作者（3） Large area graphene produced via assistance of surface modification, Journal of Semiconductors, 2013, 通讯作者（4） High-precision thickness regulation of graphene layers with low energy helium plasma implantation, Nanotechnology, 2012, 第 2 作者（5） Research on anodic bonding using the hybrid electrode with two-step bonding process, Journal of Semiconductors, 2012, 第 2 作者（6） An effective approach for restraining electrochemical corrosion of polycrystalline silicon caused by an HF-based solution and its application for mass production of MEMS devices, J. Micromech. Microeng., 2012, 第 2 作者（7） A Simple Method for Effectively Restrain Electrochemical Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hf-Based Solutions, IEEE 24th International Conference on MEMS, 2011, 第 1 作者（8） Reliable Low-Cost Fabrication and Characterization Methods for Micromechanical Disk Resonators, TRANSDUCERS 2011, 2011, 第 1 作者（9） Stress and Resistivity Controls on in Situ Boron Doped Lpcvd Polysilicon Films for High-Q Mems Applications, Journal of Semiconductors, 2009, 第 1 作者