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个人简介

教育背景 2002/9---2005/4北京科技大学材料学硕士 1998/9---2002/7中国矿业大学材料科学与工程本科 工作简历 2012.05---至今中国科学院微电子研究所 2005.04---2012.4中芯国际集成电路制造(北京)有限公司2013年度微电子研究所先进工作者 2015年度微电子研究所优秀员工 2016年度微电子研究所优秀员工

研究领域

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先进IC制造中新材料和新结构器件的薄膜工艺研发

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