傅剑宇 - 中国科学院大学

个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学招生方向微机电系统光电器件教育背景 2005-09--2010-06 中国科学院微电子研究所博士 2001-09--2005-06 四川大学学士工作简历 2014-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员 2013-05~2014-05,中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 副研究员 2011-11~2013-04,中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 助理研究员 2010-07~2011-10,重庆大学, 讲师 2005-09~2010-06,中国科学院微电子研究所, 博士 2001-09~2005-06,四川大学, 学士教授课程微机电系统基础专利成果（ 1 ）一种氮化硅薄膜制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201710966563.X （ 2 ）一种连续太赫兹波成像系统及其方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201710265958.7 （ 3 ）丙酮气敏传感器及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410621459.3 （ 4 ）加速度开关及其控制方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201310162834.8 （ 5 ）微型湿度传感器, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201811069136.2 （ 6 ） MEMS非制冷红外探测器热学参数测试电路及测试方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201910511270.1 （ 7 ） MEMS传感器热学参数测试电路及测试方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201910511055.1 （ 8 ）红外热探测器信号响应的补偿方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 201911402954.4 （ 9 ）监测具有悬空结构的传感器释放状态的方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201911201489.8 （ 10 ）电读出非制冷红外探测器的测试电路与方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: 201810324887.8 （ 11 ）一种刻蚀深度的检测方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: 202010244674.1 科研项目（ 1 ）基于弱非线性近共振效应的光读出THz成像新方法研究, 主持, 国家级, 2017-01--2019-12 （ 2 ）高性能SOI二极管型非制冷红外成像阵列传感器与系统, 参与, 国家级, 2015-03--2018-03 （ 3 ）深海微汞膜电极研制, 参与, 国家级, 2016-07--2020-06 （ 4 ）高度集成的温盐溶氧传感器加工技术研究, 参与, 国家级, 2016-07--2020-06 （ 5 ） XeF2气相腐蚀系统, 参与, 部委级, 2016-12--2018-12 （ 6 ）非制冷红外探测器关键技术研发, 参与, 省级, 2018-12--2020-11 （ 7 ）基于石墨烯掺杂阻变效应的新型热释电红外探测机理及高性能器件研究, 参与, 国家级, 2019-01--2022-12 （ 8 ）面向自由电子激光的大阵列硅基探测器关键技术研制, 参与, 部委级, 2020-01--2022-12 （ 9 ）先进封装X射线3D检测技术创新交叉团队, 参与, 部委级, 2020-01--2022-12

近期论文

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（1）一种复合式ＭＥＭＳ皮拉尼真空计的设计, 微纳电子技术, 2021, 通讯作者（2） A Self-test Method of Structural Failures of Uncooled Infrared Focal Plane Array, IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2021, 通讯作者（3） Analysis of Crosstalk Effect in Multi-pixel Thermopile Sensors With Networked Arrangement, IEEE Sensors Journal, 2021, 通讯作者（4） An effective method for evaluating thermal parameters of diode-based thermal sensors, Measurement, 2020, 通讯作者（5） A self-calibration method of microbolometer with vacuum package, IEEE Sensors Journal, 2020, 通讯作者（6）一种二极管型红外热探测器热学参数的电学等效测试方法, 红外与毫米波学报, 2019, 通讯作者（7） Low atomic number silicon nitride films for transmission electron, Materials Science in Semiconductor Processing, 2019, 第 1 作者（8） Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensors with Low Power Consumption, sensors, 2019, 通讯作者（9） Compact micro-Pirani vacuum sensor based on series diodes without, Sensors and Actuators A: Physical, 2019, 通讯作者（10） Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensor with Low Power Consumption, sensors, 2019, 通讯作者（11） Compact micro-Pirani vacuum sensor based on series diodes withou theating structure, Sensors and Actuators A: Physical, 2019, 通讯作者（12） Improving sidewall roughness by combined RIE-Bosch process, Materials Science in Semiconductor Processing, 2018, 第 1 作者（13） Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 第 1 作者（14） Thermal annealing effects on the stress stability in silicon dioxide films grown by plasma‑enhanced chemical vapor deposition, Microsyst Technol, 2017, 第 1 作者（15） Improving stress stability in low-pressure chemical vapor deposited silicon dioxide films by ion implantation, Thin Solid Films, 2016, 通讯作者（16） Optical sensitivity non-uniformity analysis and optimization of a tilt optical readout focal plane array, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 第 1 作者（17） Design optimization and performance analysis of deformed optical readout focal plane array, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 第 1 作者