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个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085400-电子信息 招生方向 三维集成与系统封装技术 教育背景 2004-09--2007-03 北京科技大学 研究生 1998-09--2002-07 内蒙古工业大学 本科 工作简历 2008-08~2020-05,中国科学院微电子研究所, 副研究员 2007-04~2008-08,清华-富士康纳米科技研究中心, 研发工程师 2004-09~2007-03,北京科技大学, 研究生 1998-09~2002-07,内蒙古工业大学, 本科 奖励信息 (1) 以硅通孔为核心的三维系统集成技术及应用, 二等奖, 省级, 2018 (2) 基于TSV的2.5D/3D封装制造及系统集成技术, 二等奖, 其他, 2017 专利成果 ( 1 ) 一种TSV转接板互连结构, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110867429A ( 2 ) 一种用于三维扇出型封装的塑封结构, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110828431A ( 3 ) CN110828408A 一种三维扇出型封装结构及其制造方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110828408A ( 4 ) 一种集成天线结构的2.5D多芯片封装结构及制造方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110649001A ( 5 ) TSV结构及TSV露头方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN109671692A ( 6 ) 重布线层结构及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN109671698A ( 7 ) 一种光模块封装结构及制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108983374B ( 8 ) 晶圆级带TSV通孔的薄晶圆清洗装置及清洗方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107346755B 科研项目 ( 1 ) 新型多种异质芯片SiP集成封装技术工艺开发, 主持, 国家级, 2017-01--2020-12

近期论文

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(1) TSV转接板空腔金属化与RDL一体成形技术研究, Study Of RDL and Metallization Of Cavity Integral Forming Technology, 半导体技术, 2020, 第 2 作者 (2) 基于双面TSV互连技术的超厚硅转接板制备, [23] Fabrication of the Ultra-thick Silicon Interposer Based on Double-sided TSV Interconnection Technolog, 微纳电子技术, 2019, 第 2 作者 (3) Investigation of intermetallic compound and voids growth in fine-pitch Sn–3.5Ag/Ni/Cu microbumps, Journal of Materials SCIence: Materials in Electronics, 2017, 第 7 作者 (4) Design and fabrication of a small-form transmitter optical subassembly for 100 Gbps short reach optical interconnect, Microwave and Optical Technology Letters, 2017, 第 5 作者 (5) Development and reliability study of 3D WLCSP for CMOS image sensor using vertical TSVs with 3:1 aspect ratio, Microsystem Technologies, 2017, 第 5 作者

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