个人简介
教育背景
1999.9~2003.7天津大学电子科学与技术系学士学位(管理学院技术经济-双学位)
2003.9~2008.7中国科学院微电子研究所获工学博士学位
工作简历
2008.9~至今中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室副研究员
2008.1~2011.3北方微电子公司产品经理,负责300mm等离子体刻蚀机设备研发和工艺开发
研究领域
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半导体等离子体制造技术和设备开发;太阳能电池制造技术及其设备技术开发