个人简介
教育背景：
2002.09-2007.03北京理工大学，精密仪器及机械专业，硕博连读研究生
2007.04-2009.06北京理工大学，兵器发射理论与技术专业，博士后
工作简历：
2009.06-2014.11中科院光电研究院，副研究员
2014.12-2018.10中科院光电研究院，研究员，投影光学研究室副主任
2018.11-至今中科院微电子研究所，研究员，光刻技术总体部副主任
近期论文
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发表期刊论文20余篇，会议论文10余篇。
[1]齐月静,卢增雄,杨光华.照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析[J].中国激光.2015.42(2）.
[2]马敬，齐月静，卢增雄.光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计[J].中国激光，2019，46(7):0704009.
[3]YuejingQi,ZengxiongLu,GongmingDing,JianiSu.AnewilluminationsourceforShack-Hartmannwavefrontsensor，Proc.ofSPIE.2014.9282.
[4]MengQingbin,QiYuejing,LuZengxiong,SuJiani.EffectofambienttemperatureonthemeasurementaccuracyofShack-Hartmannwavefrontsensor,Proc.ofSPIE,2015,9621.
[5]YuejingQi,ZengxiongLu*,JingMa,GuanghuaYang,QingyangZhang,BingLi,WeiQi,JianiSu.Researchonmicrodisplacementmeasurementtechnologybasedonchromaticconfocalmethod[C].Proc.SPIE,2019,108401G.
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