个人简介
招生专业
080300-光学工程
080902-电路与系统
085400-电子信息
招生方向
先进光刻
智能信息处理与传输
集成电路光刻技术
教育背景
2004-09--2006-09 荷兰埃因霍芬理工大学 工学博士
2002-10--2004-08 荷兰莱顿大学 理学硕士
1998-09--2002-08 东南大学 理学学士
工作简历
2006-09~2010-09,荷兰埃因霍芬理工大学, 理学博士
2004-09~2006-09,荷兰埃因霍芬理工大学, 工学博士
2002-10~2004-08,荷兰莱顿大学, 理学硕士
1998-09~2002-08,东南大学, 理学学士
科研项目
( 1 ) 14nm浸没光刻套刻对准关键技术研究, 主持, 国家级, 2018-10--2021-03
( 2 ) 测控系统真空实验研究, 主持, 部委级, 2020-06--2023-06
( 3 ) 光刻系统集成关键技术, 主持, 市地级, 2018-11--2022-12
( 4 ) EUV系统协同及综合试验验证平台, 主持, 部委级, 2019-09--2020-12
( 5 ) 核心控制机构技术研究, 主持, 市地级, 2020-06--2020-11
近期论文
查看导师新发文章
(温馨提示:请注意重名现象,建议点开原文通过作者单位确认)
Analysis of the Perception of Graphical Encodings for Information Visualization, Eindhoven University of Technology, 2010-12, 第 1 作者