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个人简介

招生方向 激光薄膜制备技术 激光薄膜与激光相互作用 教育背景 2009-09--2012-06 上海光机所 博士 2003-09--2006-06 上海光机所 硕士 1999-09--2003-06 浙江大学 学士 工作简历 2017-10~现在, 上海光机所, 研究员 2012-10~2017-09,上海光机所, 副研究员 2007-10~2012-09,上海光机所, 助理研究员 2006-07~2007-09,上海光机所, 研究实习员 奖励信息 (1) 大尺寸高性能激光偏振薄膜元件成套制备工艺技术及应用, 二等奖, 国家级, 2018 (2) 中国专利优秀奖, 国家级, 2018 (3) 米级、高消光比、高损伤阈值偏振薄膜元件成套制备工艺技术与应用开发, 一等奖, 省级, 2017 (4) 强激光光学元件表面缺陷精密检测技术及应用, 一等奖, 省级, 2017 (5) 军队科技进步奖, 二等奖, 部委级, 2012 专利成果 ( 1 ) 提高光学薄膜光学性能的膜厚监控方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201110094660.7 ( 2 ) 提高氧化铪膜层折射率的方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105506560A ( 3 ) 解决电子束沉积多层膜龟裂的临界层应力的调控方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: ZL201710380376.3 ( 4 ) 提升激光损伤阈值的基片处理方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN201710931656.9 ( 5 ) 综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN201810140027.9 ( 6 ) 提升多层激光薄膜元件环境稳定性的镀膜方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN201810140020.7 ( 7 ) 降低氧化铪-氧化硅多层膜表面粗糙度的方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN201710000723.5 ( 8 ) 光控-晶控综合膜厚监控方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201310451684.2 ( 9 ) 光学元件透射光谱自动面扫描测量装置, 发明, 2009, 第 1 作者, 专利号: ZL200820155743.6 ( 10 ) 计算机控制镀膜装置, 发明, 2008, 第 1 作者, 专利号: ZL200510026448.1 ( 11 ) 光学膜厚监控系统, 发明, 2008, 第 1 作者, 专利号: ZL200510024987.1 ( 12 ) 一种基于PEALD的紫外减反射薄膜的镀制方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN201910366232.1 ( 13 ) 渐变界面纳米薄层提升HfO2/Al2O3/SiO2紫外反射膜激光损伤阈值的方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN201910655317.1 科研项目 ( 1 ) 特种光学元件关键技术与工艺攻关, 主持, 国家级, 2013-07--2014-06 ( 2 ) ××膜的研制, 主持, 国家级, 2012-01--2014-12 ( 3 ) 基于电子束双源共蒸的“无界面”多层膜技术研究, 主持, 国家级, 2016-01--2018-12 ( 4 ) 特种光学元件关键技术与工艺攻关, 主持, 国家级, 2014-07--2015-12 ( 5 ) 特种光学元件关键技术与工艺攻关, 主持, 国家级, 2017-01--2017-12 ( 6 ) 特种光学元件关键技术与工艺攻关, 主持, 国家级, 2016-01--2016-12 ( 7 ) 上海基地条件建设项目(一期), 参与, 国家级, 2016-01--2019-12 ( 8 ) 光学元件批量制造中试验证, 参与, 国家级, 2013-06--2016-08 ( 9 ) 中红外高负载镀膜技术及器件研制, 主持, 国家级, 2016-12--2020-12 ( 10 ) 青年创新促进会, 主持, 部委级, 2015-01--2018-12 ( 11 ) 表面织构减反射石英元件, 主持, 国家级, 2011-10--2013-12 ( 12 ) 高强度、优质介质膜生产工艺研究与验证, 主持, 国家级, 2010-01--2012-06 ( 13 ) 上海市青年拔尖人才, 主持, 省级, 2019-01--2021-12 ( 14 ) 国家“万人计划”青年拔尖人才, 主持, 国家级, 2019-01--2021-12 ( 15 ) 中国科学院青年创新促进会优秀会员, 主持, 部委级, 2020-01--2022-12 参与会议 (1)Effect of water vapor on the properties of coatings deposited by electron-beam evaporation 2018-09-28 (2)Investigation on the multilayer coating with co-evaporated interface 2018-04-24 (3)Enhanced LIDT of high-reflective coatings by substrate pit suturing 2017-10-25 (4)Enhanced LIDT of high-reflective coatings by substrate pit suturing and co-evaporation technique 2017-07-17 (5)Stress Compensation by an Undercoat SiO2 Layer Prepared using Plasma Ion Assisted Deposition 2016-10-03 (6)Thin-film polarizer for high power laser system 2016-03-07 (7)Influence of Different-sized Substrate Pits on Nanosecond-Laser-Induced-Damage in High-Reflective Coatings 2015-09-21 (8)Research on the laser damage performance of high reflection coatings at 355 nm 2013-05-20 (9)Multiple wavelength laser induced damage of multilayer beam splitters 2012-09-24 (10)Photo-thermal tomography of optical coatings based on surface thermal lensing technology 2011-10-24

研究领域

激光薄膜制备技术 激光与薄膜相互作用研究

近期论文

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(1) Nanolaminate-based design for UV laser mirror coatings, Light: Science & Applications, 2020-02, 第 1 作者 (2) Effects of water adsorption on properties of electron-beam HfO2/SiO2 high-reflection coatings, Thin Solid Films, 2020-02, 通讯作者 (3) Laser resistance dependence of interface for high-reflective coatings studied by capacitance-voltage and absorption measurement, Optics Letters, 2018, 通讯作者 (4) Environmental stability investigation on electron-beam deposited coatings with dense capping layer, Optical Engineering, 2018, 通讯作者 (5) Influence of deposition temperature and SiO2 overcoat layer on laser resistance of 532-nm high-reflection coating, Optical Engineering, 2018, 第 1 作者 (6) Study on Brewster angle thin film polarizer using hafnia-silica mixture as high refractive index material, Optical Engineering, 2018, 通讯作者 (7) Improving the laser-induced damage threshold of 532-nm antireflection coating using plasma ion cleaning, Optical Engineering, 2017, 第 1 作者 (8) Improving laser damage resistance of 355 nm high-reflective coatings by co-evaporated interfaces, Optics Letters, 2016, 通讯作者 (9) Multilayer deformation planarization by substrate pit suturing, Optics Letters, 2016, 通讯作者 (10) Laser-resistance sensitivity to substrate pit size of multilayer coatings, Scientific Reports, 2016, 通讯作者 (11) Impact of substrate pits on laser-induced damage performance of 1064-nm high-reflective coatings, Optics Letters, 2015, 通讯作者 (12) Experimental demonstration of laser damage caused by interface coupling effects of substrate surface and coating layers, Optics Letters, 2015, 通讯作者 (13) Influence of SiO2 overcoat layer and electric field distribution on laser damage threshold and damage morphology of transport mirror coatings, Optics Communications, 2014, 第 1 作者 (14) Effect of Advanced Plasma Source bias voltage on properties of HfO2 films prepared by plasma ion assisted electron evaporation from metal hafnium, Thin Solid Films, 2013, 第 1 作者 (15) Reduction in thickness error of optical coatings by dividing thick layers and monitoring with multiple witness glasses, Vacuum, 2013, 第 1 作者 (16) Theoretical and experimental research on spectral performance and laser induced damage of Brewsters thin film polarizers, Applied Surface Science, 2011, 第 1 作者 (17) Influence of APS bias voltage on properties of HfO2 and SiO2 single layer deposited by plasma ion-assisted deposition, Chinese Optical Letters, 2011, 第 1 作者 (18) Preparation of high performance thin-film polarizers, Chinese Optical Letters, 2011, 第 1 作者

学术兼职

2020-01-15-今,SPIE Laser Damage, 国际组委会委员 2019-03-22-今,光学薄膜标准化技术委员会, 副主任委员 2015-05-17-今,SPIE Pacific-Rim Laser Damage国际会议, 大会秘书

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