步扬 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向信息光电子技术,高端光刻机技术,光学精密检测技术偏振技术、光谱技术工作简历 1999-07~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 任职奖励信息（1）中国电子学会科学技术奖, 二等奖, 部委级, 2016 专利成果（ 1 ）四通道时分复用大气偏振检测方法与系统, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201010215238.8 （ 2 ）全光纤大范围位移测量仪, 2001, 第 2 作者, 专利号: ZL01126555.8 （ 3 ）半导体激光器光频光强调制器, 2002, 第 2 作者, 专利号: ZL02112080.3 （ 4 ） Optical System For Measurement Of Illumination Pupil Polarization State Of Mask Aligner, 2016, 第 3 作者, 专利号: WO2016155426A1 （ 5 ）宽光谱大视场显微物镜光学系统, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201611044908.8 （ 6 ）光刻投影物镜热像差的快速仿真方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: ZL201810603730.9 （ 7 ）一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径规划方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: ZL201710229617.4 科研项目（ 1 ）宽光谱大视场显微成像光学系统的研发, 主持, 国家级, 2011-01--2013-12 （ 2 ） XXXX, 参与, 国家级, 2009-07--2013-12 （ 3 ） XXX, 主持, 国家级, 2009-01--2010-12 （ 4 ）光学材料与光学元件亚表面缺陷检测仪的研制, 主持, 省级, 2008-07--2010-07 （ 5 ）实时纳米精度面形干涉测量仪, 参与, 省级, 2005-10--2007-12 （ 6 ） 90nm光刻机照明系统多参数检测技术研究, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12 （ 7 ）浸没式光刻机照明系统多参数检测装置, 主持, 国家级, 2016-01--2020-12 （ 8 ）基于微区RS和LIBS的中药材残留化合物与重金属成份检测样机的研制, 主持, 省级, 2018-07--2020-06

近期论文

查看导师新发文章（温馨提示：请注意重名现象，建议点开原文通过作者单位确认）

（1） Micromirror array allocation algorithm based on deconvolution, Appl. Opt., 2020, 通讯作者（2） Illumination field parameters measurement for lithographic illumination subsystem, Optik, 2020, 通讯作者（3） Jones pupil metrology of lithographic projection lens and its optimal configuration in the presence of error sources, Opt. Express, 2019, 第 4 作者（4） A simple system of swept source optical coherence tomography for a large imaging depth range, Optics Communications, 2019, 第 4 作者（5） Predictor of thermal aberrations via particle filter for online compensation, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2019, 第 6 作者（6） Research on LIBS quantitative analysis of heavy metal concentration in polluted water-based on Fourier self-deconvolution method, Proc. SPIE 11337, 2019, 通讯作者（7）光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术, 中国激光, 2019, 通讯作者（8）基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测, 中国激光, 2019, 通讯作者（9）穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法, 光学学报, 2019, 第 4 作者（10）基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法, 光学学报, 2019, 第 4 作者（11） Passively Driven Probe Based on Miniaturized Propeller for Intravascular Optical Coherence Tomography, Scientific reports, 2018, 第 4 作者（12） Calibration method of overlay measurement error caused by asymmetric mark, Appl. Opt., 2018, 第 3 作者（13） Modeling and optimization of lens heating effect for lithographic projector, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018, 第 5 作者（14） Prediction of lens heating induced aberration via particle filter in optical lithography, Proc. SPIE 10587, Optical Microlithography XXXI, 2018, 第 6 作者（15）偏振频域OCT系统光谱错位分析及光谱校准, 中国激光, 2018, 第 4 作者（16）一种基于固定光程差干涉信号的光学相干层析成像光谱标定方法, 中国激光, 2018, 第 4 作者（17）基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测, 中国激光, 2017, 通讯作者（18）基于自相干莫尔条纹的光刻机对准技术研究, 中国激光, 2017, 第 3 作者（19） Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry, Appl. Opt., 2017, 第 3 作者（20） Automatic spectral calibration for polarization-sensitive optical coherence tomography, Opt. Express, 2017, 第 4 作者（21） Monocular Vision-Based Underwater Object Detection, Sensors, 2017, 第 4 作者（22） Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image, Opt. Express, 2017, 第 4 作者（23）基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测, 中国激光, 2017, 第 2 作者（24） Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method, Appl. Opt., 2016, 第 3 作者（25） Nonsubsampled contourlet transform method for optical fringe pattern analysis in profilometry and interferometry, Appl. Opt., 2016, 第 4 作者（26） Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry, Optics Communications, 2016, 第 3 作者（27）偏振正交误差对偏振光导航定位系统测量精度的影响, Effect of Polarization Analyzers Perpendicular Error on Measurement Accuracy of Polarization Position System, 中国激光, 2011, 第 2 作者（28）基于米氏散射理论的太阳光散射偏振特性, Skylight Polarization Patterns Based on Mie Theory for Scattering, 中国激光, 2010, 第 2 作者（29）太阳光大气散射的散射角与偏振度关系的研究, Relations between skylight scattering angle and degree of polarization under different sky conditions, Chinese Optics Letters, 2010, 第 2 作者（30）基于视觉仿生原理的四通道时分复用大气偏振检测技术, Four-Channel Time Division Multiplexing Atmospheric Polarization Measurement Technique Based on Vision Bionics, 中国激光, 2010, 第 2 作者（31）基于频域相位共轭技术的光纤偏振信号的失真抑制, 中国科学G辑：物理学力学天文学, 2008, 第 1 作者（32） Control of polarization signal distortion by frequency domain phase conjugation in optical fiber systems, Sci China Ser G-Phys Mech Astron, 2008, 第 1 作者

学术兼职

2012-09-01-今,中国光学学会光学测试专业委员会委员, 委员