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个人简介

招生方向 光学光刻技术 光学生物传感技术 光散射测量技术 教育背景 2000-09--2005-07 中国科学院研究生院 工学博士 1989-09--1992-07 中国科学院上海光学精密机械研究所 工学硕士 1985-09--1989-07 浙江大学 工学学士 工作简历 2001-01--今 中国科学院上海光学精密机械研究所 研究员 1995-11--2000-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 副研究员 1993-10--1995-10 中国科学院上海光学精密机械研究所 助理研究员 1992-07--1993-09 中国科学院上海光学精密机械研究所 研究实习员 奖励信息 (1) 基于稀土纳米上转发光技术的即时检验系统创建与应用,二等奖,部委级,2014 (2) 基于稀土纳米上转发光技术的生物应急检测系统创建与产业化,二等奖,省级,2014 (3) 国境口岸反生物恐怖现场快速检测,一等奖,部委级,2009 (4) 0.3um激光尘埃粒子计数器,三等奖,院级级,1993 专利成果 (1) 光纤倏逝波生物传感器,发明,2001,第1作者,专利号:ZL01139224.X,已应用 (2) 紫外激光生物粒子计数器,发明,2002,第1作者,专利号:ZL02136858.9,已应用 (3) 多探头光纤倏逝波生物传感器,发明,2003,第1作者,专利号:ZL03115586.3,已应用 (4) 上转换发光生物传感器,发明,2004,第1作者,专利号:ZL200410034105.5,已批量生产 (5) 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器,发明,2004,第1作者,专利号:ZL200410018167.7,已批量生产 (6) 测量尘埃粒子的光学传感器,发明,2007,第1作者,专利号:ZL200710190116.6,已批量生产 (7) 双通道实时生物气溶胶监测方法与装置,发明,2010,第1作者,专利号:201010177954.1,已应用 (8) 金标免疫试纸条的反射式光度计,发明,2006,第3作者,专利号:ZL 200610029498.X,已批量生产 (9) 一种免疫层析多重检测试纸盘及免疫层析多重检测方法,发明,2007,第4作者,专利号:200710064311.4,已应用 (10) 用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法,发明,2011,第5作者,专利号:201110047072.8,已应用 (11) 光束整形元件光学性能的检测装置与检测方法,发明,2011,第2作者,专利号:201110167236.0,已应用 (12) 光学尘埃粒子计数器的光学探头,发明,2003,第1作者,专利号:ZL01105812.9,已应用 (13) 观测眼睛的光学诊断仪,发明,2004,第1作者,专利号:ZL01126557.4 ,已应用 (14) 一种实时微生物粒子计数器,发明,2014,第1作者,专利号:201410189510.8,已应用 (15) 折反射式光刻照明中继镜组,发明,2014,第1作者,专利号:2014101354893,尚未应用 (16) PUPIL SHAPING PTICAL SYSTEM FOR LITHOGRAPHY MACHINE AND METHOD FOR GENERATING OFF-AXIS ILLUMINATION MODES,发明,2015,第1作者,专利号:13879038.1,已应用 科研项目 (1) UPT生物样品自动检测模块,主持,其他级,2013-04--2015-12 (2) 45nm浸没光刻机照明系统光学优化设计及仿真,主持,国家级,2012-01--2014-12 (3) 高端光刻机偏振照明关键技术联合研究,主持,国家级,2011-01--2015-12 (4) 高NA浸没曝光照明系统关键技术研究,主持,国家级,2009-07--2015-12

近期论文

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(1) An approach to increase efficiency of DOE based pupil shaping technique for off-axis illumination in optical lithography,OPTICS EXPRESS,2015,通讯作者 (2) 准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试,中国激光,2015,通讯作者 (3) 亚微米粒子虚拟冲击器的研制,中国激光,2014,通讯作者 (4) 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计,中国激光,2013,通讯作者 (5) Development and calibration of a single UV LED based bioaerosol monitor,OPTICS EXPRESS,2013,通讯作者 (6) 亚微米粒子虚拟冲击器的研制,中国激光,2013,通讯作者 (7) 光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法,中国激光,2013,通讯作者 (8) Theoretical Studies on Bioaerosol Particle Size and Shape Measurement from Spatial Scattering Profiles,Chinese Optics Letters,2011,通讯作者 (9) 单分散生物气溶胶光散射特性的计算与分析,中国激光,2010,通讯作者 (10) 基于免疫层析技术的时间分辨荧光分析仪研究,仪器仪表学报,2009,通讯作者 (11) A simple optical reader for upconverting phosphor particles captured on lateral flow strip,IEEE SENSORS JOURNAL,2009,通讯作者 (12) 多探头光纤倏逝波生物传感器及其性能研究,中国激光,2004,第1作者 (13) Design and application of fiber-optic evanescent wave biosensor,SPIE,2003,第1作者 (14) 光纤倏逝波生物传感器及其应用,光学学报,2003,第1作者 (15) 尘埃粒子的半导体激光散射测量,中国激光,2002,第1作者 (16) 铜激光倍频光亚微米投影光刻系统的设计与实验研究,光学学报,1997,第1作者 (17) 深亚微米激光光刻研究,光学学报,1996,第2作者

学术兼职

2015-06--今 全国光学和光子学标准化技术委员会电子-光学系统分技术委员会,委员

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