个人简介
教育背景与专业资格:
博士: 纳米技术与精密工程中心 , 工程系, University of Warwick (英国)
硕士: 大连理工大学, 机械工程系
学士: 沈阳建筑大学, 机械工程系
英国注册工程师(CEng), 英国机械工程院会员(MIMechE)
辽宁省”百人计划“特聘专家
工作经历:
2016年 – 现在,广东工业大学 “百人计划” 特聘教授
2011-2015,天津大学特聘教授
2013年 – , 天津三英精密仪器股份有限公司,董事长
2015年 – ,三英精控(天津)科技有限公司,董事长
2006年- 2009年,Xradia, Inc (www.xradia.com )(美国), 工程部主任
2001年 – 2006年, nPoint, Inc (www.nPoint.com) (美国) , 技术总监 (CTO)
1999年– 2000年, KLA-Tencor (www.kla-tencor.com )(美国),高级工程师
1995年 – 1999年, Queensgate Instruments Ltd (英国) (www.queensgate.com ) ,高级工程师,
国外主要完成的研发项目:
(1)美国SBIR资助项目(95万美元):Subnanometer-Precision Positioning for Imaging, Nanofabrication, and Integration;
(2)美国SBIR资助项目(70万美元):Fast CompaCT Nanopositioner Based on MEMS Flexures and Novel ACTuator Design;
(3)美国SBIR资助项目(95万美元):Linear Nanopositioning Translational Motion Stage Based on Novel Composite Materials to Enhance Speed and Range of Motion;
(4)美国SBIR资助项目(174万美元):High-Speed Multi-Axis Nanopositioning Systems for Next-Generation CD Metrology and Lithography;
(5)美国SBIR资助项目(75万美元):A High-Speed Scanning Nanoprobe Head Using Carbon Nanotubes as Compliant Probes;
国内主持和参加的项目:
(科技部)国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项(873万元):“高精度纳米位移平台开发与应用” (2017YFF0105900),2017年–2019年,项目负责人。
(科技部)国家重大科学仪器设备开发专项(6318万元):“X射线三维显微成像检测系统研制与应用开发” (2011YQ030112),2011年–2014年,项目负责人。
(科技部)国家科技支撑计划项目: “微纳技术计量标准和标准物质研究”, 任务九 - 纳米位移定位控制技术和系统的研发(2011BAK15B09),(327万元),2011年-2014年,任务负责人。
(科技部)国家高技术研究发展计划(863计划):“先进传感器技术与系统”,任务四:工业型扫描探针显微测试系统及关键技术(600万元),2012年-2015年,项目主要策划人和主要参加人。
山东省东营市引进人才项目:“X射线三维显微成像数字岩心综合分析系统的研发”(830万元),2010年-2012年,项目负责人。
天津市科技支撑计划重点项目:“石油地质专用X光三维显微成像检测技术和设备”(500万元),2015年 – 2017年,项目负责人
其它:
2017年 辽宁省科技进步奖二等奖“纳米位移定位控制技术和系统的研发”第一完成人
研究领域
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超精密运动控制新技术和新产品的开发
纳米和亚纳米范围的精密测量技术和位移/定位控制技术
超精密半导体检测设备和生物医学检测设备的设计和研制
现代扫描显微成像技术开发和应用
X射线三维显微检测技术的开发与应用
学术兼职
2016.10 – 现在:北京市射线成像技术与装备工程技术研究中心技术委员会委员
2012.12 – 现在:中国科学院高能物理研究所X射线光学与技术实验室学术委员会委员
2010.2 – 现在:中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员