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个人简介

机电工程学院教授/博士生导师，2006年博士毕业于湖南大学，2010--2011年新加坡国立大学访问学者，广东省“千百十”工程校级培养对象，广东省企业科技特派员，工程训练国家级实验教学示范中心主任；主要研究方向激光精密加工，包括（1）硬脆材料激光精细加工技术；（2）激光表面微纳制造技术。主要面向电子制造领域的光电材料和器件开展激光加工基础理论与方法、加工过程建模仿真与检测技术等研究。主持完成了10多项国家自然科学基金、国家重点研发计划、广东省自然科学基金等国家、省、市级及企业委托项目，第一作者或通讯作者在发表研究论文40多篇（其中SCI/EI论文20多篇，二区以上10篇），第一发明人授权专利20余件。担任中国光学学会激光加工专业委员会委员，中国光学学会激光加工专业委员会青年学术委员会副主任，中国机械工程学会特种加工分会激光加工技术委员会委员、广东省机械工程学会特种加工分会秘书长，广东省激光产业技术创新联盟专家委员会副主任等学术团体职务。担任国内外知名刊物通讯审稿人，国家自然科学基金等项目评审专家，多次受邀在CLEO-PR2017、SLAM2018等国内外重要学术会议邀请报告。个人获“2017、2018年度广东工业大学优秀研究生导师”等称号。指导2014级研究生江伟获“2018年度广东工业大学优秀硕士学位论文”、“2016-2017年度广东省优秀学生（研究生阶段）”、“2017届广东工业大学优秀毕业生”；指导2014级研究生江伟、2016级研究生何志键获得“研究生国家奖学金”；指导的研究生在新加坡国立大学、华南理工大学等国内外知名大学升造，以及在大族激光、广汽集团、珠海格力等国内外知名激光加工公司和大型企业工作。激光微纳加工研究中心现有飞秒激光加工系统、1064/532/355nm波长DPSS固体激光器和光纤激光器等一批先进激光加工基础平台，拥有超快成像光谱仪、研究级微区X射线衍射残余应力分析仪、激光冲击波全过程测量仪、激光器参数测量仪、声发射检测仪等一批检测仪器。欢迎机械、电子、光学、材料、物理、力学、控制等专业的学生报考，有意读博者优先！办公地点：广东工业大学工学二号馆705 通信地址：广州大学城外环西路100号邮政编码：510006学科领域科学学位：机械制造及其自动化/机械工程专业学位：机械工程教育背景 1992---1996甘肃工业大学机械制造工艺与设备专业，获工学学士学位； 2000---2002湖南大学机械制造及其自动化专业，获工学硕士学位； 2002---2006湖南大学机械工程专业，获工学博士学位； 2010---2011国家公派新加坡国立大学访问学者工作经历 2006----2008，广东工业大学，机电工程学院，讲师 2009----2015，广东工业大学，机电工程学院，副教授、硕士生导师 2016----2018，广东工业大学，机电工程学院，教授、硕士生导师 2019----至今，广东工业大学，机电工程学院，教授、博士生导师 2015----2018，广东工业大学，机电工程学院，副院长 2019----至今，广东工业大学，实验教学部，副主任学术背景广东工业大学教授、博士生导师广东工业大学第六批千百十培养对象中国光学学会激光加工专业委员会委员中国光学学会激光加工专业委员会青年学术委员会副主任中国机械工程学会特种加工分会激光加工技术委员会委员广东省机械工程学会特种加工分会秘书长广东省激光产业技术创新联盟专家委员会副主任广东省企业科技特派员工程训练国家级实验教学示范中心主任科研项目 [1]超快激光高精密去除技术与装备：面向IC的超快激光精细抛光技术与制造新方法.国家重点研发计划增材制造与激光制造专项（子课题）（2018YFB1107702），2018.5-2021.4，60万 [2]微纳悬浮颗粒与光诱导微射流辅助激光背面湿式切割蓝宝石基片的机理和方法研究.国家自然科学基金面上项目（51575114），2016.1~2019.12，63万. [3]激光制备具有梯度润湿结构表面的平板微热管的研究.广州市科学技术计划项目（201607010156），2016.4~2019.3，20万. [4]调Q脉冲YAG绿激光精密分割蓝宝石基片方法与机理研究.国家自然科学基金项目（50805027），2009.1~2011.12，20万. [5]激光成形切割蓝宝石基片的技术研究.广东省普通高校特色创新项目（自然科学类,No.2014KTSCX059）,2014.1~2016.12，10万. [6]基于光诱导微射流增强效应的激光加工蓝宝石的技术研究.广东省自然科学基金项目（S2013010014070），2013.10~2015.10，5万. [7]激光诱导背面湿式精密蚀刻加工蓝宝石的机理和方法研究.江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目，2012.9~2014.9，4万. [8]基于流体动压效应超薄不锈钢基板化学机械抛光技术研究.广东省自然科学基金项目（10151009001000036），5万，2010.10~2012.10. [9]清洁机械用低噪声驱动桥装置的研制及产业化.番禺区科技计划项目（2010-z-12-1），25万. [10]基于超快激光的材料微加工及其过程检测技术开发.横向项目.10万 [11]清洁机械齿轮箱的开发.横向项目.5.5万教学活动研究生课程：能场制造技术本科生课程：精密制造技术，工程训练知识产权授权发明专利 [1]谢小柱，罗志强，魏昕，胡伟，一种金属基底梯度润湿表面的激光制备方法,2018.9.14，中国，ZL201410857211.7 [2]谢小柱，罗志强，魏昕，胡伟，一种具有非连续毛细结构微热管的激光制备方法，2017.1.4，中国，ZL201410857214.0 [3]谢小柱，魏昕，胡伟，苑学瑞，胡满凤，高勋银,增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置及加工方法,2016.4.20,中国，ZL201310181566.4 [4]谢小柱，高勋银，魏昕，胡伟，胡满凤黄显东，一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置，2016.6.15，中国，ZL201410229233.9 [5]谢小柱，魏昕，胡伟，黄福民，一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法，2015.6.3，中国，ZL201210346105.3 [6]谢小柱，江伟，魏昕，胡伟，任庆磊，一种粒径分布可控的铜微纳颗粒的化学激光复合制备方法，2017.12.5，中国，ZL201610298631.5 [7]谢小柱，江伟，魏昕，胡伟，任庆磊，一种限制层作用下的纳米石墨颗粒的激光连续制备方法，2018.12.4，中国，ZL201610633550.6 [8]谢小柱，江伟，魏昕，胡伟，翁清，一种自动生产线的激光黑色打标系统，2017.1.4，中国，ZL201521145140.4 [9]谢小柱，江伟，魏昕，胡伟，翁清，一种自动生产线的激光黑色打标方法，2017.10.10，中国，ZL201511035661.9 [10]魏昕，谢小柱，胡伟，郭晓艳，谢昕，黄加福，蓝宝石的抛光装置及其抛光方法，2011.11.9，中国，ZL200910037054.4 授权实用新型专利 [11]谢小柱，翁清，罗志强，魏昕，胡伟，任庆磊，洪文杰，一种平板微热管的传热性能测试装置，2018.5.1，中国，ZL201621233375.3 [12]谢小柱，翁清，魏昕，胡伟，刘帅，曹州权，一种多层复合吸液芯平板微热管，2018.5.1，中国，ZL201720066815.9 [13]魏昕，吴亚平，谢小柱，胡伟，杨旸，分段式复合结构平板传热管，2016.11.30，中国，ZL201620457082.7 [14]杨旸，魏昕，谢小柱，胡伟，吴亚平，一种平板热管复合沟槽式吸液芯，2017.4.12，中国，ZL201621134840.8 [15]谢小柱，魏昕，胡伟，苑学瑞，胡满凤，高勋银,增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置,2014.2.19，中国，ZL201320267412.2 [16]谢小柱，高勋银，魏昕，胡伟，胡满凤，黄显东，一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置，2015.1.28，中国，ZL201420281978.5 [17]谢小柱，刘帅，魏昕，胡伟，翁清，曹州权，一种玻璃微流道的激光复合加工装置，2018.2.9，中国，ZL201720066814.4 [18]谢小柱，江伟，魏昕，胡伟，任庆磊，一种粒径分布可控的铜微纳颗粒的化学激光复合制备系统，2016.11.30，中国，ZL201620408950.2 [19]谢小柱，江伟，魏昕，胡伟，任庆磊，一种限制层作用下的纳米石墨颗粒的激光连续制备系统，2017.4.19，中国，ZL201620844729.1 [20]江伟，谢小柱，魏昕，胡伟，一种玻璃黑色打标的激光加工装置，2015.9.30，中国，ZL201520374316.7 [21]江伟，谢小柱，魏昕，胡伟，一种激光背面湿式加工蓝宝石基片的夹具装置，2015.9.30，中国，ZL201520374304.4

研究领域

科研方向：激光精密加工，包括（1）硬脆材料激光精细加工技术；（2）激光表面微纳制造技术

近期论文

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期刊论文 [1]XiaozhuXie(谢小柱)#*,QingWeng,ZhiqiangLuo,JiangyouLong,XinWei,Thermalperformanceoftheflatmicro-heatpipewiththewettabilitygradientsurfacebylaserfabrication,InternationalJournalofHeatandMassTransfer,2018,125:658-669(SCI/EI收录，JCR一区，IF=3.891) [2]JiangyouLong#,QingWeng,WenjieHong,ZuoCao,PeiyangZhou,XiaozhuXie(谢小柱)*,Fastwaterflowinlasermicromachinedmicrogrooveswithnonuniformsurfacewettability,ExperimentalThermalandFluidScience,2019,103:9-17(SCI/EI收录，JCR一区，IF=3.204) [3]JiangyouLong#,CaixiaZhou,ZhouquanCao,XiaozhuXie(谢小柱)*,WeiHu,Incubationeffectduringlaser-inducedbacksidewetetchingofsapphireusinghigh-repetition-ratenear-infrarednanosecondlasers,OpticsandLaserTechnology,2019,109:61-70(SCI/EI收录，JCR二区，IF=2.503) [4]JiangyouLong#*,ZuoCao,ChaohuiLin,CaixiaZhou,ZhijianHe,XiaozhuXie(谢小柱)*,FormationmechanismofhierarchicalMicro-andnanostructuresoncopperinducedbylow-costnanosecondlasers,AppliedSurfaceScience,2019,464:412-421(SCI/EI收录，JCR一区，IF=4.439) [5]JiangyouLong#*,ZhijianHe,CaixiaZhou,XiaozhuXie(谢小柱)*,ZuoCao,PeiyangZhou,YiliangZhu,WenjieHong,ZhishengZhou,Hierarchicalmicro-andnanostructuresinducedbynanosecondlaseroncopperforsuperhydrophobicity,ultralowwateradhesionandfrostresistance,MaterialsandDesign,2018,155:185-193(SCI/EI收录，JCR一区，IF=4.525) [6]JiangyouLong#*,ZhijianHe,PeiyangZhou,XiaozhuXie(谢小柱)*,CaixiaZhou,WenjieHong,WeiHu,Low-costfabricationoflarge-areabroccoli-likemultiscalemicro-andnanostructuresformetallicsuper-hydrophobicsurfaceswithultralowwateradhesionandsuperioranti-frostability,AdvancedMaterialsInterfaces,2018,5(180035313)(SCI/EI收录，JCR一区，IF=4.834) [7]W.Jiang#,X.Z.Xie(谢小柱)*,X.Wei,W.Hu,Q.L.Ren,Z.S.Zou,Highcontrastpatterningonglasssubstratesby1064nmpulsedlaserirradiation,OpticalMaterialsExpress,2017,7(5):1565-1574(SCI/EI收录，JCR二区，IF=2.566) [8]WeiJiang#,XiaozhuXie(谢小柱)*,RonghongChe,XinWei,WeiHu,QingleiRen,QingWeng,Pulsedgreenlaserinducedregularstripesonkerfsidewallofsapphiresubstrate,JournalofLaserMicroNanoengineering,2017,12(1):45-49(SCI/EI收录，JCR四区，IF=0.789) [9]XiaozhuXie(谢小柱)#*,XiandongHuang,WeiJiang,XinWei,WeiHu,QingleiRen,Threedimensionalmaterialremovalmodeloflaser-inducedbacksidewetetchingofsapphiresubstratewithCuSO4solutions,OpticsandLaserTechnology,2017,89:59-68(SCI/EI收录，JCR二区，IF=2.503) [10]X.Z.Xie(谢小柱)#*,Z.Q.Luo,X.Wei,F.L.Zhang,W.Hu,Q.L.Ren,Twingasjet-assistedpulsedgreenlaserscribingofsapphiresubstrate,JournalofLaserMicroNanoengineering,2016,11(2):170-178(SCI/EI收录，JCR四区，IF=0.789) [11]XinWei#*,XiangdongYang,XiaozhuXie(谢小柱),WeiHu,Amaterialremovalratemodel-basedchemicalactionofultra-thinSUS304substrateinchemicalmechanicalpolishing,InternationalJournalofAdvancedManufacturingTechnology,2016,85(1-4):287-290(SCI/EI收录，JCR二区，IF=2.601) [12]X.Z.Xie(谢小柱)#*,M.F.Hu,W.F.Chen,X.Wei,W.Hu,X.Y.Gao,X.R.Yuan,M.H.Hong*,Cavitationbubbledynamicsduringlaserwetetchingoftransparentsapphiresubstratesby1064nmlaserirradiation,JournalofLaserMicroNanoengineering,2013,8(3):259-265(SCI/EI收录，JCR四区，IF=0.789) [13]XiaozhuXie(谢小柱)#*,FuminHuang,XinWei,WeiHu,QingleiRen,XueruiYuan,Modelingandoptimizationofpulsedgreenlaserdicingofsapphireusingresponsesurfacemethodology,OpticsandLaserTechnology,2013,45:125-131(SCI/EI收录，JCR二区，IF=2.503) [14]X.Z.Xie(谢小柱)#*,Z.Y.Pan,X.Wei,F.M.Huang,W.Hu,M.H.Hong*,Hybridmicromachiningoftransparentsapphiresubstratebypulsedgreenlaserirradiation,JournalofLaserMicroNanoengineering,2011,6(3):209-213(SCI/EI收录，JCR四区，IF=0.789) [15]Xiao-zhuXie(谢小柱)#*,Li-junLi,XinWei,WeiHu,Distributionoftheintensityabsorbedbyevaporativefrontinlasercuttingnonmetallicmaterial,OpticsandLasersinEngineering,2008,46(8):604-613(SCI/EI收录，JCR一区，IF=3.388) [16]X.Wei#*,X.Z.Xie(谢小柱),W.Hu,J.F.Huang,PolishingSapphireSubstratesby355nmultravioletlaser.InternationalJournalofOptics,2012,2012:1-7 [17]罗志良#，谢小柱*,魏昕,胡伟,任庆磊,江伟，激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验，中国激光，2017，44(04)：51~58(EI收录) [18]江伟#，谢小柱*，魏昕，胡伟，任庆磊，翁清，脉冲光纤激光控制断裂切割超薄钛酸锶陶瓷基片，中国激光，2016，(05)：91~99(EI收录) [19]谢小柱#*，黄显东，陈蔚芳，魏昕，胡伟，车荣泓,脉冲绿激光划切蓝宝石基片过程研究，中国激光，2013，40（12）：1203010-1~9(EI收录) [20]谢小柱#*,李力钧,魏昕，胡伟.有机玻璃激光气化切割前沿，中国激光[J].第35卷，第6期：925-930页，2008.(EI收录) [21]曹州权#，谢小柱*，陈蔚芳，魏昕，胡伟，任庆磊，液体辅助激光加工过程中压力检测及应用研究进展，光电工程，2017，44(04)：381~392 [22]谢小柱#*,魏昕，胡伟.线偏振CO2激光对非金属材料切缝的影响.激光技术，2008，32（4）：399~401 [23]谢小柱#*,车荣泓,魏昕，胡伟，任庆磊.红外脉冲激光诱导背面湿式刻蚀加工蓝宝石的工艺规律研究.应用激光,2015，35（2）：236~241 [24]谢小柱#*，苑学瑞，陈蔚芳，魏昕，胡伟，胡满凤，高勋银,激光诱导泡技术研究和应用新进展,激光与光电子学进展，2013，50（8）：080017-1~7 [25]黄福民#，谢小柱*，魏昕，胡伟，苑学瑞，半导体晶圆激光切割新技术，激光技术，2012，36（3）：293~297 [26]谢小柱#*，魏昕，胡伟，CO2激光切割模切板的表面质量，激光技术，2009，33（1）：71~73 ·邀请报告 [1]XiaozhuXie(谢小柱),Advancedlaserprocessingtechnologyandapplications,2018InternationalSymposiumonLaserAdvancedManufacturing(SALM2018),Wuhan,P.R.China,14November2018(特邀报告) [2]XiaozhuXie(谢小柱),Laserinducedbacksidewetetchingofsapphiresubstrate,The12thConferenceonLasersandElectro-OpticsPacificRim(CLEO-PR2017),Singapore,31July-4August2017(特邀报告) [3]谢小柱，激光先进制造技术在摩托车行业的应用与思考，ALAT2018中国先进激光在摩托车应用技术大会，中国，江门，2018年9月14日(特邀报告) [4]谢小柱，难加工材料的激光加工技术应用,2016华南（广州）先进激光及加工应用技术论坛,中国，广州，2016年12月7-9日(特邀报告) [5]谢小柱.激光加工蓝宝石的技术及应用，亚洲激光论坛（ALAT2015），中国深圳,2015.5.8-5.9 ·会议论文 [1]YiliangZhu#,XiaozhuXie(谢小柱)*,QingpengHuang,WeiHu,Researchprogressinlaserprocessingofvascularstent,ProceedingsofSPIE,SixthInternationalConferenceonOpticalandPhotonicEngineering,2018,10827,Shanghai,P.R.China,2018.5.8-5.11(EI/ISTP收录) [2]QingWeng#,XiaozhuXie(谢小柱)*,RonghongChe,XinWei,WeiHu,QingleiRen:StudyoncoppersurfacewettingtransformationbyUVlaserfabrication,ProceedingsofLPM2017-the18thInternationalSymposiumonLaserPrecisionMicrofabrication,2017,Toyama,Japan,2017.6.5-6.8 [3]M.Tang#,X.Z.Xie(谢小柱),J.Yang,Z.C.Chen,L.Xu,Y.S.Choo,M.H.Hong*,Lasermicroprocessingandnanoengineeringoflarge-areafunctionalmicro/nanostructures,ProceedingsofSPIE-SmartNano-MicroMaterialsandDevices,pp820428,Hawthorn,2011.12.05-07.(EI/ISTP收录) [4]XiaozhuXie(谢小柱)#*,FuminHuang,XinWei,WeiHu,QingleiRen,XueruiYuan,Ablationthresholdofsapphirebypulsedgreenlaserinnanosecondregime,AdvancedMaterialsResearch,2011,314-316:1930-1934(EI/ISTP收录) [5]XieXiao-zhu(谢小柱)#*,HuangFu-min,WeiXin,HuWei,RenQing-lei,ExperimentalstudyoflaserdicingsapphiresubstratebygreenDPSSlaser,ProceedingsofSPIE-SemiconductorLasersandApplicationsIV,pp78440T,Beijing,2010.10.18-19(EI/ISTP收录) [6]X.Z.Xie(谢小柱)#*,J.G.Lu,X.Wei,W.Hu,Influenceofbeampolarizationsonevaporativelasercuttingnonmetallicmaterialswithinhighabsorptance,MaterialsScienceForum,2009,626-627:363-368.(EI/ISTP收录) [7]XIEXiao-zhu(谢小柱),LILi-jun,WEIXin,HUWei..MechanismofCO2lasercuttingnonmetallicmaterialsbasedonwallfocusingeffects.SPIE,2008,68258(EI/ISTP收录)[8]WeiX.#*,XieX.Z.(谢小柱),HuangJ.F,HuW.,ExperimentalstudyonpolishingsapphiresubstratebyQ-switched355nmlaserwithnanosecondpulses,Proceedingsofthe9thInternationalConferenceonFrontiersofDesignandManufacturing,Changsha,2010.07.17-19 [9]黄庆澎#，谢小柱*等,纳秒脉冲激光除锈过程的声发射监测实验研究，第十三届全国激光加工学术会议暨第二届激光复合制造协同创新国际论坛，2018，杭州，中国，2018.11.8-11.9 [10]李俭国#，谢小柱*，激光活化玻璃表面的铜电路选择性沉积，杭州，第十三届全国激光加工学术会议暨第二届激光复合制造协同创新国际论坛，2018，杭州，中国，杭州2018.11.8-11.9 [11]李苗妮#，谢小柱*，激光诱导还原烧结氧化铜纳米颗粒制备铜电路，第十三届全国激光加工学术会议暨第二届激光复合制造协同创新国际论坛，2018，杭州，中国，杭州，2018.11.8-11.9

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