彭强祥 - 湘潭大学 - 材料科学与工程学院

个人简介

男，1984年4月生，湖南娄底人，博士，讲师，硕士生导师，2014年在电子科技大学获得微电子学与固体电子学工程博士，师从电子科技大学校长，电子薄膜与集成器件国家重点实验室主任李言荣院士。2016-2017年在日本东京工业大学工学院Ohmi实验室进行学术交流，从事微电子材料与器件工艺、微电子机械系统(MEMS)工艺、铁电材料及其器件应用方面的研究，主持国家自然科学基金项目1项，重点实验室项目2项，博士启动基金项目1项。近5年发表一作SCI论文4篇，工艺工艺相关论文3篇，中国专利8项。目前主要的研究方向为氧化铪铁电材料、新型存储器设计与工艺、铁电器件的辐射效应。欢迎电子材料、微电子学、应用物理等专业的大四本科生报考硕士研究生！科研项目 [1].国家自然科学基金青年项目，氧化铪基铁电薄膜及其存储单元性能研究，主持，2016-2018； [2].强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室开放课题，MFIS制备技术及其场效应晶体管的总剂量效应研究，主持，2015-2017； [3].博士科研启动资金项目，铁电薄膜的图形化工艺研究，主持，2015-2017； [4].装备用关键薄膜材料及其应用湖南省国防科技重点实验开放课题，铁电存储器用薄膜微图形化工艺技术研究，主持，2015-2016

研究领域

[1].铁电薄膜材料。包括物理（如Sputter、PLD）与化学溶液（CSD）法制备铁电薄膜（如SBT、HfO2）、生长机理、掺杂改性、微观结构表征与性能测试等。 [2].铁电存储器设计与工艺技术。包括金属/铁电薄膜/绝缘层/半导体（MFIS）结构设计与优化、铁电器件的集成电路工艺平台兼容技术、光刻、干/湿法刻蚀、磁控溅射等。

近期论文

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[1]Q.X.Peng,W.B.Luo,J.Meng,W.Y.Fu,X.Qing,X.Y.Sun,Y.Shuai,C.G.Wu.W.L.Zhang.Anewmethodofdepositinghighfigure-of-meritporousPZTpyroelectricthickfilmusing[001]-orientedPZTnanorodbyelectrophoresisdeposition.J.Mater.Sci:Mater.Electron.,2014,25(1):297-302 [2]Q.X.Peng,W.B.Luo,C.G.Wu,，X.Y.Sun,P.Li,X.Y.Chen,ThefabricationandpyroelectricpropertiesofsinglecrystallinePZTnanorodsynthesizedbyhydrothermalreaction,J.Mater.Sci:Mater.Electron.,2014,25(4):1627-1632 [3]Q.X.Peng,C.G.Wu,W.B.Luo,L.Jin,W.L.Zhang,C.Chen,X.Y.Sun.TheImprovementofPyroelectricPropertiesofPZTThickFilmsonSiSubstratebyTiOxBarrierLayer.Infra.Phys.Techn.,2013,58:51-55 [4]Q.X.Peng,C.G.Wu,W.B.Luo,C.Chen,G.Q.Cai,X.Y.Sun,D.P.Qian.AninfraredpyroelectricdetectorimprovedbycoolisostaticpressingwithcupshapedPZTthickfilmonsiliconsubstrate.Infra.Phys.Techn.,2013,61:313-318 [5]Q.X.Peng,C.G.Wu,W.B.Luo,W.L.Zhang,J.Q.Cao.StudyofPZTthick-filminfrareddetectorspreparedbyMEMStechnology.SPIE-Int.Soc.Opt.Eng.,BeiJing,2011,8193,81934J-4