个人简介
2000/07-2004/09 武汉化工学院材料物理专业学士学位
2004/09-2007/07 武汉工程大学材料学院材料学专业硕士研究生
2007/09-2010/6 中国科学院微电子所微电子学与固体电子学博士研究生
2010/12-2013/03 浙江大学电气工程学院博士后
2013/04-2018/11 中国科学院微电子研究所微电子仪器与设备工程中心副研究员
2018/12-至今 中国计量大学计量测试工程学院副研究员
在研课题
1、等离子体自动控制系统研发（企业项目）
2、半导体纳米光学/光电材料成膜（企业项目）
3、半导体高性能原子层沉积系统研发（企业项目）
获奖情况
1、原子层沉积系统的开发与应用，中国电子学会科技奖一等奖，省部级，2017，排名第5
2、原子层沉积系统的开发与应用，北京市科学技术奖三等奖，省部级，2017年，排名第5
3、集成电路科教设备研发和科教融合模式创新与实践，中国科学院教育教学成果特等奖，部委级，2016年，排名第5
4、原子层沉积系统及工艺，第二十届全国发明展金奖，2011年，排名第5
5、2009-2010年度获中国科学院研究生院“三好学生”
6、获中国科学院微电子研究所优秀研究生奖学金，2009年
近期论文
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1、等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究, 真空科学与技术学报. 2014, 34（2）: 192-196
2、Reflection of electromagnetic wave using a plasma sheet, IEEE Trans. Plasma Sci., 2010, 38(8), 2006-2009
3、Plasma-induced direct graft on polytetrafluoroethylene films by quasi-glow discharge at atmospheric pressure, Plasma Processes and Polymers, 2009, 6(12):825-830
4、In-Situ nitrogen doping of the TiO2 photocatalyst deposited by PEALD for visible light activity, Plasma Science and Technology, 2014, 16(3):239-243
5、Dehydroxylation action on surface of TiO2 films restrained by nitrogen carrier gas during atomic layer deposition process, Rare Metals， 2014, 33（5）:583-586
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