李超波 - 中国科学院大学

个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085209-集成电路工程 085208-电子与通信工程招生方向微纳感知系统与器件微纳米先进制造技术微电子装备与工艺教育背景 2002-09--2007-06 中国科学院微电子研究所工学博士工作简历 2007-06~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员/研究室主任奖励信息（1）原子层沉积系统的开发与应用, 一等奖, 部委级, 2017 （2）等离子体浸没离子注入机开发与应用, 三等奖, 省级, 2014 出版信息科研项目（ 1 ）中国科学院青年创新促进会优秀会员, 主持, 部委级, 2016-01--2018-12 （ 2 ）光通信器件微纳3D打印系统研究, 主持, 省级, 2016-01--2017-12 （ 3 ）生物微流体芯片技术, 参与, 国家级, 2016-01--2018-12 （ 4 ）冷冻电镜中的先进纳米流道芯片研究, 参与, 部委级, 2017-07--2020-06 （ 5 ）高精密真空零部件研发, 主持, 国家级, 2017-01--2020-12

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（1） Tiny impacts for far-field focusing by plasmonic lens with a free slit-width design, optical engineering, 2017, 通讯作者（2） Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique, Applied Surface Science, 2014, 通讯作者（3） ALD生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究, 物理学报, 2013, 通讯作者（4） High-precision thickness regulation of graphene layers with low energy helium plasma implantation, Nanotechnology, 2012, 通讯作者（5） Anodic bonding using a hybrid electrode with a two-step bonding process, journal of semiconductor, 2012, 通讯作者

学术兼职

2018-03-01-今,评审专家, 中国博士后科学基金 2017-07-01-今,委员, 中国生物工程学会生命科学仪器专业委员会 2017-05-01-今,责任专家, 北京市生产力促进中心