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个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085208-电子与通信工程 招生方向 射频、微波器件与电路集成技术 微细加工 教育背景 1992-09--1996-07 南开大学 学士 工作简历 1996-10--今 中国科学院微电子研究所 学士 奖励信息 (1) 北京市科技进步一等奖,一等奖,省级,2004 专利成果 (1) 一种提高GaN HEMT栅槽刻蚀可重复性的方法 ,发明,2010,第2作者,专利号:201010227180.90 (2) 一种利用尺寸效应监控栅槽刻蚀的方法 ,发明,2010,第1作者,专利号:201010574009.5 (3) 控制背孔剖面形状的方法 ,发明,2010,第1作者,专利号: 201010520274.50 (4) 控制背孔剖面形状的方法 ,发明,2010,第1作者,专利号:201010520271.10 (5) 一种提高AlGaN/GaN HEMT频率特性的方法 ,发明,2011,第2作者,专利号:201010217196.10 科研项目 (1) 新型高频、大功率化合物半导体电子器件研究,参与,国家级,2010-01--2014-12 (2) GaN基毫米波功率器件与材料基础与关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 (3) GaN 宽禁带微电子材料和器件重大基础问题研究”,主持,部委级,2008-01--2012-12

研究领域

长期从事微波器件与电路研究,从事微细加工技术研究!

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(1) InGaN背势垒的fmax 达到200GHz GaN HEMT 器件,AlGaN/GaN HEMT with 200GHz fmax on sapphire substrate with InGaN back-barrier,微波与红外学报,2011,第2作者 (2) Ka 波段 GaN HEMT器件设计,Design and implementation of Ka-band AlGaN/GaN HEMTs”,微波与红外学报,2011,第3作者 (3) 源漏间距2.4um 高性能GaN HEMT,“High performance AlGaN/GaN HEMTs with 2.4um source–drain spacing”,,半导体学报,2010,第2作者 (4) GaN 栅结构的优化,Gate-structure optimization for high frequency power AlGaN/GaN HEMTs,半导体学报,2010,第3作者

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