个人简介
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程
招生方向
集成电路先导工艺技术
MEMS智能传感器
物联网及智能硬件
教育背景
2005-03--2008-06中国科学院上海微系统与信息技术研究所博士
2002-09--2005-03中国科学院长春光学精密机械与物理研究所硕士
1998-09--2002-07聊城大学学士
工作简历
2013-11~现在,中国科学院微电子研究所,副研二级
2011-07~2013-11,中国科学院微电子研究所,副研三级
2011-07~现在,江苏物联网研究发展中心,副研
2008-07~2011-07,中国科学院微电子研究所,助研
奖励信息
（1）吉林省科技厅科技成果三等奖,三等奖,省级,2004
研究领域
科研项目
（1）基于SOI硅片CMOS-MEMS工艺兼容的IRFPA研究,主持,部委级,2011-01--2012-01
（2）集成纳米结构的多参数MEMS红外气体传感器,主持,国家级,2014-01--2018-12
（3）基于等离子体共振理论单片集成式气体传感器关键技术研究,参与,省级,2013-07--2016-06
（4）面向物联网用高集成度微型CO2气体传感器,主持,国家级,2012-01--2013-12
（5）面向物联网用MEMS多传感器自动化测试系统开发,主持,国家级,2012-01--2013-12
（6）集成电路与MEMS集成封装测试服务平台,参与,国家级,2011-01--2013-12
（7）无源、无线、多参数维纳传感器与系统,参与,国家级,2013-01--2015-12
参与会议
（1）ResearchofperiodicamorphouscarboncompositefilmsforMEMSIRsourcefabricatedbymagnetronsputtering2016-04-17
（2）CMOSMEMSINFRAREDSOURCEBASEDONBLACKSILICON2016-04-17
（3）ResearchofaopticalMini-typegassensorbasedonanasymmetrygascavityAnjieMing1,2*,WenboZhang2,ZhenxinTan2,WenOu1,2,HaipingShang1,2,QiulinTan3,HaiyangMao1,2,JijunXiong3,DapengChen12014-08-31
（4）基于Labview平台的压力传感器自动化测试系统第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会明安杰赵敏谭振新吴健欧文陈大鹏2013-07-22
（5）CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作第九届全国光电技术学术交流会明安杰，陈大鹏，欧文，王玮冰，何伟，刘占峰2009-05-29
（6）StudyonopticalpartsofMOEMSopticalswitchwithlowinsertionlossAnJie.Ming2005-10-15
专利成果
（1）倾斜下电极式光开关的闩锁,实用新型,2005,第3作者,专利号:03251920.6
（2）微机械光开关的闩锁及制作,发明,2008,第3作者,专利号:03127612.1
（3）微机械推拉式可调谐光栅,发明,2009,第2作者,专利号:101493574B
（4）基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法,发明,2011,第2作者,专利号:101441112B
（5）一种晶圆级MEMS器件的真空封装结构及封装方法,发明,2012,第2作者,专利号:201210088182.3
（6）一种晶圆临时键合方法,发明,2013,第3作者,专利号:201210260218.1
（7）一种柔性多参数传感器及其制造方法,发明,2012,第2作者,专利号:201210265331.9
（8）一种柔性多参数传感器,实用新型,2012,第2作者,专利号:201220366634.5
（9）一种用于MEMS光学器件的薄膜封帽结构及其制造方法,发明,2012,第3作者,专利号:201210300822.2
（10）一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法,发明,2012,第4作者,专利号:201210303727.8
（11）基于黒硅的高性能MEMS热电堆红外探测器及其制备方法,发明,2012,第4作者,专利号:201210303746.0
（12）用于传感器芯片的开放式封装结构,实用新型,2013,第2作者,专利号:201220491566.5
（13）用于传感器芯片的开放式封装结构及其制造方法,发明,2012,第2作者,专利号:201210358177.X
（14）一种MEMS温度传感器的封装结构,实用新型,2013,第2作者,专利号:201220489285.6
（15）一种MEMS温度传感器的封装结构及其制造方法,发明,2012,第2作者,专利号:201210359753.2
（16）MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统,实用新型,2013,第5作者,专利号:201220491118.5
（17）MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统及检测方法,发明,2012,第5作者,专利号:201210357917.8
（18）压力传感器温度特性的测试装置,实用新型,2013,第5作者,专利号:201220501087.7
（19）一种压力传感器温度特性的测试装置,实用新型,2013,第5作者,专利号:201220500936.7
（20）一种压力传感器温度特性的测试装置,实用新型,2012,第5作者,专利号:201210372437.9
（21）压力传感器温度特性的测试装置,发明,2012,第5作者,专利号:201210372438.3
（22）电互联阵列的测试结构,实用新型,2013,第2作者,专利号:201220560105.9
（23）电互联阵列的测试结构及其测试方法,发明,2012,第2作者,专利号:201210422224.2
（24）单片集成式微型红外气体传感器,实用新型,2013,第4作者,专利号:201320269323.1
（25）单片集成式微型红外气体传感器,发明,2013,第4作者,专利号:201310182931.3
（26）MOS气体传感器及其制备方法,发明,2015,第2作者,专利号:201510393508.7
（27）[18.]集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器及其制作方法,发明,2016,第1作者,专利号:201610133211.1
（28）[17.]集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器,实用新型,2016,第1作者,专利号:201620179891.
近期论文
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（1）AcompactInfraredgassensorbasedonanasymmetrygascavity,KeyEngineeringMaterials,2015,第1作者
（2）基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台,Theautomatedtestingplatformformulti-channelMEMSaccelerometersbasedonvisualinstrumenttechnique,InfraredandLaserEngineering,2014,第1作者
（3）ResearchofaopticalMini-typegassensorbasedonanasymmetrygascavity,The5thInternationalConferenceofCSMNT2014,2014,第1作者
（4）Designandsimulationofahighfill-factorSOIdiodeuncooledinfraredfocalplanearrays,J.Micromech.Microeng,2013,第3作者
（5）ImprovedstructuredesignforSOIdiodeuncooledinfraredfocalplanearrays,JournalofInfraredAndMillimeterWaves,2013,第3作者
（6）CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作,DesignandfabricationofCMOScompatibleIRFPA,InfraredandLaserEngineering,2010,第1作者
（7）Acompressedwideperiod-tunablegratingworkinginlowvoltage,JournalofSemiconductors,2010,第3作者
（8）Acompressedwideperiod-tunablegratingworkingatlowvoltage,JournalofSemiconductors,2010,第3作者
（9）MEMScompressedtunablegrating,Proc.SPIE,2009,第3作者
（10）ElectrostaticMEMSActuatorwithLargeDisplacementinLowDrivingVoltage,TheChineseJournalofSemiconductors,2008,第1作者
（11）StudyonopticalpartsofMOEMSopticalswitchwithlowinsertionloss,Proc.SPIE,2005,第1作者
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