夏洋 - 中国科学院大学

个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085209-集成电路工程 085208-电子与通信工程招生方向集成电路先导工艺技术新原理装备技术新型太阳能电池教育背景 1995-09--1998-07 北京科技大学材料物理系博士学位 1987-09--1990-07 北京科技大学材料物理系硕士学位 1979-09--1983-07 北京大学物理系学士学位工作简历 1998-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 仪器设备中心主任 1990-07~1995-09,北京航空材料研究院, 工程师 1983-09~1987-07,江西师范大学, 任教教授课程半导体工艺与制造技术集成电路制造工艺与设备微电子技术系列讲座奖励信息（1）朱李月华优秀教师奖, 院级, 2017 （2）北京市科学进步奖, 三等奖, 市地级, 2017 （3）中国电子学会科技奖, 一等奖, 市地级, 2017 （4）中国科学院教育教学成果奖, 特等奖, 部委级, 2016 （5） 27nmCMOS器件, 一等奖, 市地级, 2008 专利成果（ 1 ）一种原子层沉积系统原位实时检测方法及装置, 发明, 2016, 第 5 作者, 专利号: 201610258332.9 （ 2 ）一种用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610338812.6 （ 3 ）一种利用臭氧清洗基片的方法及装置, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610120924.4 （ 4 ）一种具有旋转工件台的全时测量PV组件功率特性的装置, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201611029690.9 （ 5 ）一种基片清洗方法及装置, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610121195.4 （ 6 ）一种硅片抛光装置, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610120946.0 （ 7 ）一种硅片抛光方法及装置, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610121192.0 （ 8 ）一种P型氧化锌薄膜制备装置及方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 201610981167.X （ 9 ）一种3D打印装置, 发明, 2017, 第 5 作者, 专利号: 201710600784.5 （ 10 ）一种X射线波带片制备系统, 发明, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201810028022.7 （ 11 ）一种脉冲激光沉积装置及其方法, 发明, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201810028030.1 （ 12 ）一种石墨烯薄膜材料的加工方法, 发明, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810548236.7 （ 13 ）一种场发射阴极电子源、阵列及电子发射方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201811006225.2 （ 14 ）一种场发射阴极电子源及其阵列, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201811006185.1 （ 15 ）一种多支撑膜辅助的石墨烯电化学转移方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201811005282.9 科研项目（ 1 ）二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器, 主持, 国家级, 2015-01--2020-12 （ 2 ） 28-14nm原子层沉积系统（ALD）腔室关键技术研究, 主持, 国家级, 2015-01--2018-12

近期论文

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（1） Barrier tunneling of the loop-nodal semimetal in the hyperhoneycomb lattice, Journal of Physics: Condensed Matter, 2018, 第 4 作者（2） Tiny impacts for far-field focusing by plasmonic lens with a free slit-width design, Optical Engineering, 2017, 第 4 作者（3）纳米结构Si表面增强拉曼散射特性研究, 发光学报, 2017, 第 4 作者（4）原子层沉积生长电学性质可调ZnO薄膜工艺, 微纳电子技术, 2016, 第 4 作者（5） Direct Identification of Multilayer Graphene Stacks on Copper by Optical Microscopy, Chemistry of Materials, 2016, 第 3 作者（6） The role of hydrogen in oxygen-assisted chemical vapor deposition growth of millimeter-sized graphene single crystals, Nanoscale, 2016, 第 3 作者（7） Epitaxial nucleation of CVD bilayer graphene on copper, Nanoscale, 2016, 第 5 作者（8） Process Study of Atomic Layer Deposition Al2O3 in Industry Application for Solar Cells, Advanced Materials Research, 2014, 通讯作者（9） High-precision thickness regulation of graphene layers with low energy helium plasma implantation, Nanotechnology, 2012, 通讯作者（10） The passivation of Al2O3 and its applications in the crystalline silicon solar cell, 物理学报, 2011, 通讯作者（11） A novel method to produce black silicon for solar cells, Solar Energy 85 (2011) 1574–1578, 2011, 第 1 作者