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个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085209-集成电路工程 085208-电子与通信工程 招生方向 集成电路先导工艺技术 MEMS传感器技术 教育背景 1989-09--1992-07 中国科技大学研究生院(北京) 硕士 1985-09--1989-07 浙江大学 学士 工作简历 2009-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员 1997-07~1998-07,香港科技大学, 访问学者 1992-08~1997-07,中国科学院微电子中心, 助理研究员 奖励信息 (1) 北京市科技进步奖, 二等奖, 省级, 2005 专利成果 ( 1 ) 红外焦平面阵列器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010267982.8 ( 2 ) 非制冷红外探测器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010262233.0 ( 3 ) 非平面结构的非挥发性存储器单元及制作方法, 发明, 2003, 第 1 作者, 专利号: 01139666.0 ( 4 ) 嵌入式快闪存储器中隧穿氧化层的制备方法, 发明, 2005, 第 1 作者, 专利号: 02120379.2 ( 5 ) 红外焦平面阵列器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010267967.8 ( 6 ) 热电堆红外探测传感器及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010267981.8 ( 7 ) 微透镜阵列及其制作方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201110131361.6 ( 8 ) 一种双面微透镜阵列及其制造方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201110126266.7 科研项目 ( 1 ) 复合功能二维像素阵列探测器, 参与, 国家级, 2016-06--2020-12

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(1) 基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台, 红外与激光工程, 2014, 通讯作者 (2) Fabrication of polyimide sacrificial layers with inclined sidewalls based on RIE technology, AIP Advances, 2014, 通讯作者 (3) Nanopillar-forest based surface-enhanced Raman scattering substrates, SCIENCE CHINA Information Sciences, 2014, 通讯作者 (4) Design of thermopile-based infrared detectors with suspended absorber-thermopile bi-layers, CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS, 2014, 通讯作者 (5) SOI二极管型非制冷红外焦平面结构的改进设计, 红外与毫米波学报, 2014, 第 2 作者 (6) 一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器 , 传感技术学报, 2014, 通讯作者 (7) Improved structure design for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, Journal of Infrared And Millimeter Waves, 2013, 第 2 作者 (8) Design and simulation of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, ?J. Micromech. Microeng, 2013, 第 2 作者 (9) Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer Technology, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 第 3 作者 (10) MEMS无源无线压力传感器研究, 仪表技术与传感器, 2013, 第 2 作者 (11) Design and Fabrication of Novel Microlens-micromirrors Array for Infrared Focal Plane Array, MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2012, 第 2 作者 (12) Fabrication of a 100percent fill factor silicon microlens array, 半导体学报, 2012, 第 2 作者 (13) 一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器, 红外技术, 2012, 第 2 作者 (14) Kinetics investigation of RIE lag phenomenon by GaAs ICP etching, China Semiconductor Technology International Conference 2012, 2012, 第 4 作者 (15) 基于黑硅为吸收层的热电堆红外探测器, 仪表技术与传感器, 2012, 第 3 作者 (16) A design of thermopile infrared detector based on black silicon as absorption, 传感技术学报, 2012, 第 3 作者 (17) CMOS 兼容的微机械热电堆红外探测器的设计, 红外技术, 2012, 第 3 作者 (18) “CF4预处理后热生长薄栅氧漏电流及势垒研究“, 半导体学报, 2004, 第 2 作者 (19) 闪速存储器的单管多位技术, 微电子学, 2004, 第 2 作者 (20) SCDI Flash Memory Device II:Experiments andCharacteristics, 半导体学报, 2004, 第 1 作者 (21) SCDI Flash Memory Device I:Simulation and Analysis, 半导体学报, 2004, 第 1 作者 (22) Flash 器件中氧化硅/氮化硅/氧化硅的特性, 半导体学报, 2003, 第 1 作者 (23) Novel nonplanar Flash Memory Device, 半导体学报, 2002, 第 1 作者

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