昌锡江 - 上海工程技术大学 - 电子电气工程学院

个人简介

昌锡江，宁夏银川人，1984年2月出生。本科毕业于清华大学工程物理系，于复旦大学和日本静冈大学分别获得物理电子学和电气电子工学博士学位。2013年进入日本东北大学流体科学研究所任职研究员，研究方向为中性束气相化学沉积的应用。2015年回国，就职于北京北方微电子，任职项目经理，负责低电子温度表面波等离子体刻蚀机的研发，完成了原理机。通过了第十一批“海聚工程”青年项目，获聘“北京市特聘专家”，被认定为“北京市海外高层次人才”。2016年加入上海工程技术大学，职称为副教授。获得2016年上海市青年****称号。在学习工作期间发表SCI论文十余篇，两项专利在申。目前的研究方向是基于低温等离子体技术的各种应用。

研究领域

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研究方向低温等离子体物理及应用