当前位置: X-MOL 学术J. Nucl. Mater. › 论文详情
Our official English website, www.x-mol.net, welcomes your feedback! (Note: you will need to create a separate account there.)
衬底粗糙度和溅射功率对磁控溅射ATF TiN涂层性能的影响
Journal of Nuclear Materials ( IF 2.8 ) Pub Date : 2018-07-07 , DOI: 10.1016/j.jnucmat.2018.07.011
Weiwei Xiao , Hua Deng , Shuliang Zou , Yuhong Ren , Dewen Tang , Ming Lei , Changfei Xiao , Xi Zhou , Yao Chen

TiN涂层已使用直流(DC)磁控管溅射法沉积在Zr-4基底上,并且研究了基底的粗糙度和溅射功率对涂层的微观结构,厚度/沉积速率,粘附性能和残余应力的影响。用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对涂层的微观结构进行表征。通过使用SEM检测涂层的厚度。通过使用划痕测试来测试粘附性。残余应力通过使用XRD方法测量。结果表明,涂​​层的微观结构,厚度/沉积速率,粘附性能和残余应力受基材粗糙度和溅射功率的影响。基材的粗糙度对涂层的表面显微照片影响很大,但对厚度/沉积速率影响不明显。微观结构,厚度/沉积速率受溅射功率的显着影响。另外,粘附性不会随基板的粗糙度和溅射功率而单调变化。随着基材表面粗糙度和溅射功率的增加,附着强度呈现出先上升后下降的趋势。涂层的残余应力是压缩的,并且通过相对低的溅射功率沉积的涂层的残余应力大小高于通过相对高的溅射功率沉积的涂层的残余应力大小。厚度/沉积速率受溅射功率的显着影响。另外,粘附性不会随基板的粗糙度和溅射功率而单调变化。随着基材表面粗糙度和溅射功率的增加,附着强度呈现出先上升后下降的趋势。涂层的残余应力是压缩的,并且通过相对低的溅射功率沉积的涂层的残余应力大小高于通过相对高的溅射功率沉积的涂层的残余应力大小。厚度/沉积速率受溅射功率的显着影响。另外,粘附性不会随基板的粗糙度和溅射功率而单调变化。随着基材表面粗糙度和溅射功率的增加,附着强度呈现出先上升后下降的趋势。涂层的残余应力是压缩的,并且通过相对低的溅射功率沉积的涂层的残余应力大小高于通过相对高的溅射功率沉积的涂层的残余应力大小。





"点击查看英文标题和摘要"

更新日期:2018-07-07
down
wechat
bug