微等离子体是低温等离子体，具有微米级尺寸，独特的高能量密度和非平衡反应环境，这使其有希望用于制造先进的纳米材料和用于各种应用的设备。在这里，从高通量，印刷技术兼容的常见材料类型的纳米晶体颗粒的合成到水净化和光电器件，这里研究了最近的等离子应用。在低温和大气压下，微等离子体与气态和/或液态介质结合，为形成先进的功能材料和设备开辟了新途径。具体实例包括气相，无底物，等离子液体和金属，半导体，金属氧化物和碳基纳米材料的表面支撑合成。对材料科学和技术特别重要的微等离子体的代表性应用包括用于多功能的光源，用于光化学材料处理和光谱材料分析的高效VUV / UV光源，表面消毒，水净化，基于人工微等离子体光学材料的有源电磁设备以及其他设备和系统，包括等离子晶体管。重点介绍了在材料相关领域应用微等离子体技术的当前局限性和未来的机会。基于人工微等离子体光学材料的有源电磁设备以及包括等离子体晶体管在内的其他设备和系统。重点介绍了在材料相关领域应用微等离子体技术的当前局限性和未来的机会。基于人工微等离子体光学材料的有源电磁设备以及包括等离子体晶体管在内的其他设备和系统。重点介绍了在材料相关领域应用微等离子体技术的当前局限性和未来的机会。



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