通过脉冲激光沉积制备了SrTiO3薄膜。随后，以两种不同的通量1×1016和5×1016离子/ cm2注入60 keV N离子进行离子注入，然后进行退火。然后表征薄膜的电子结构，形态和传输性能。X射线吸收光谱揭示了TiO6八面体的局部形变以及由于N注入引起的氧空位的引入。测量这些薄膜的电和热电性能随温度的变化，以了解其传导和散射机理。可以看出，对于更高的N离子通量，这些薄膜的电导率和塞贝克系数（S）显着提高。在80-400 K的温度范围内分析了随温度变化的电阻率，使用各种传导机制并配备了频带传导，近邻跳频（NNH）和可变范围跳频（VRH）模型。结果表明，在高温和低温状态下，带导机制占主导地位，NNH和VRH之间存在交叉。已经使用弛豫时间近似模型和在300-400 K温度范围内的分散传输机制对S进行了分析。由于电导率和热功率的改善，在400 K下功率因数提高到15 µWm-1 K-2离子通量更高，约为原始薄膜的十倍。这项研究表明，离子束可以用作一种有效的技术，以选择性地改变氧化物热电材料的电传输性质。



"点击查看英文标题和摘要"