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具有无通孔的多层金属互连的高度堆叠3D有机集成电路。
Nature Communications ( IF 14.7 ) Pub Date : 2019-06-03 , DOI: 10.1038/s41467-019-10412-9 Hocheon Yoo 1 , Hongkeun Park 2 , Seunghyun Yoo 1 , Sungmin On 1 , Hyejeong Seong 3 , Sung Gap Im 2 , Jae-Joon Kim 1
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更新日期:2019-06-03
Nature Communications ( IF 14.7 ) Pub Date : 2019-06-03 , DOI: 10.1038/s41467-019-10412-9 Hocheon Yoo 1 , Hongkeun Park 2 , Seunghyun Yoo 1 , Sungmin On 1 , Hyejeong Seong 3 , Sung Gap Im 2 , Jae-Joon Kim 1
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多层金属互连对于大规模有机集成电路的开发至关重要。特别地,三维集成电路在层之间需要大量的垂直互连。在这里,我们提出了一种新颖的多层金属互连方案,该方案涉及对绝缘层进行无溶剂图案化以形成互连区域,以确保不同层中两种金属之间的可靠电连接。使用高度可靠的互连方法,可以无溶剂地成功制造出迄今为止堆叠量最高的有机晶体管,即由5个晶体管和20个金属层组成的三维有机集成电路。所有晶体管均具有出色的器件特性,包括〜10 7的高导通/截止电流比,没有磁滞行为,并且具有极好的器件间一致性。我们还演示了两个垂直堆叠的互补逆变器电路,它们在4个不同的楼层上使用晶体管。所有电路均具有出色的逆变器特性,输出电压摆幅为100%,每V增益高达35V。
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