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低成本和开源旋涂机的设计，制造和光学特性
Journal of Chemical Education ( IF 2.5 ) Pub Date : 2019-05-14 00:00:00 , DOI: 10.1021/acs.jchemed.9b00013
Mohammad Sadegh-cheri 1
Journal of Chemical Education ( IF 2.5 ) Pub Date : 2019-05-14 00:00:00 , DOI: 10.1021/acs.jchemed.9b00013
Mohammad Sadegh-cheri 1
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旋涂机广泛用于纳米/微技术中的薄膜涂布。在本文中，基于开源Arduino微控制器制造了具有廉价机械和电子组件的旋涂机。为了测量和控制旋涂机的旋转速度，使用了两种传感器类型，包括两个红外（IR）发光二极管（LED）或霍尔效应（HE）集成电路（IC）。测试了旋涂机在1000-9000 rpm（每分钟转数）范围内的旋涂聚二甲基硅氧烷（PDMS）聚合物的能力。用光学干涉法测定旋涂PDMS薄膜的厚度和透光率。结果表明，该旋涂机的性能与商业机型相似，因此可以在实验室和学生教育中使用。
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更新日期：2019-05-14
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