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在 SiO 2 /Si 晶片中注入的 Fe 离子演变成用于碳纳米管林生长的均匀尺寸的催化剂颗粒
Carbon ( IF 10.5 ) Pub Date : 2017-10-01 , DOI: 10.1016/j.carbon.2017.07.045 Cheol-Hun Lee , Jaegeun Lee , Sunmog Yeo , Sung-Hyun Lee , Teawon Kim , Hyeon-Gu Cha , Youngmoo Eun , Hyun Jin Park , Seung Min Kim , Kun-Hong Lee
Carbon ( IF 10.5 ) Pub Date : 2017-10-01 , DOI: 10.1016/j.carbon.2017.07.045 Cheol-Hun Lee , Jaegeun Lee , Sunmog Yeo , Sung-Hyun Lee , Teawon Kim , Hyeon-Gu Cha , Youngmoo Eun , Hyun Jin Park , Seung Min Kim , Kun-Hong Lee
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摘要 我们报告了基于 Fe 离子注入方法合成具有窄直径分布的碳纳米管 (CNT) 林。通过将注入 Fe 的 SiO 2 /Si 晶片在 Ar 气氛中在 800 °C 下退火 15 分钟，通过 Fe 原子从 SiO 2 层的扩散，成功地在 SiO 2 层表面形成了 Fe 颗粒。有趣的是，Fe 注入 SiO 2 /Si 晶片的 Fe 催化剂颗粒的尺寸分布不会随着长达 12 小时的延长退火时间而改变。使用二次离子质谱和透射电子显微镜 (TEM)，我们证实注入的 Fe 原子扩散出 SiO 2 层并在 SiO 2 表面和 SiO 2 与 Si 之间的界面上形成 Fe 颗粒。横截面 TEM 图像表明 Fe 催化剂颗粒锚定在 SiO 2 层中，这限制了颗粒的流动性，并导致在延长退火时间时催化剂尺寸分布不变。因此，我们预计植入可以成为 CNT 森林生长的有效替代催化剂制备方法，可以解决传统物理气相沉积方法固有的各种生长问题。
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更新日期：2017-10-01
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