碳微电极由于其独特的材料特性和生物相容性而具有广泛的应用范围。这项工作提出了悬浮和热解碳微结构的制造和表征，用作电化学应用的三维（3D）碳微电极。使用多个步骤的紫外线光刻技术在环氧基光刻胶（SU-8）中制造3D聚合物模板，并在900°C的温度下热解以获得3D碳微电极。通过SEM，拉曼光谱和XPS对热解碳的微观结构进行了表征，以确定其机械稳定性，收缩率和材料性能。在悬浮碳层中制造的最小特征尺寸为2μm。设计并制作了具有3D热解碳微结构作为工作电极的三电极微电极芯片。在定制的带磁性钳位的批处理系统中，使用亚铁氰化钾氧化还原探针使用伏安法（CV）和阻抗谱（EIS）对电极进行了表征。比较了不同的3D热解碳微电极，与2D碳电极相比，最佳设计显示出两倍的峰值电流和一半的电荷转移电阻。多巴胺检测说明了3D碳微电极对电化学传感的更高灵敏度。比较了不同的3D热解碳微电极，与2D碳电极相比，最佳设计显示出两倍的峰值电流和一半的电荷转移电阻。多巴胺检测说明了3D碳微电极对电化学传感的更高灵敏度。比较了不同的3D热解碳微电极，与2D碳电极相比，最佳设计显示出两倍的峰值电流和一半的电荷转移电阻。多巴胺检测说明了3D碳微电极对电化学传感的更高灵敏度。



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