The monolithic integration of ultrasound transducers using CMOS back-end-of-line processes is a promising route to introduce micromachined sensors into commercial foundries.

中文翻译：

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将集成电路变成超声波换能器


使用 CMOS 后端工艺对超声传感器进行整体集成是将微机械传感器引入商业代工厂的一条很有前途的路线。