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接触电阻和界面工程:基于高性能 2D-TMD 的器件的进展
Progress in Materials Science ( IF 33.6 ) Pub Date : 2024-10-15 , DOI: 10.1016/j.pmatsci.2024.101390
Xiongfang Liu , Kaijian Xing , Chi Sin Tang , Shuo Sun , Pan Chen , Dong-Chen Qi , Mark B.H. Breese , Michael S. Fuhrer , Andrew T.S. Wee , Xinmao Yin
先进电子设备的发展取决于可持续的材料开发和开创性的研究突破。传统的基于半导体的电子技术在材料厚度、尺寸缩放和能源效率方面面临限制。原子薄的二维 (2D) 过渡金属硫化物 (TMD) 已成为下一代纳米电子学和光电应用的有前途的候选者,具有高电子迁移率、机械强度和可定制的带隙。尽管有这些优点,但费米能级固定效应在金属-2D-TMD 接触处引入了不可控的肖特基势垒,挑战了通过肖特基-莫特规则进行的预测。这些障碍从根本上导致接触电阻升高和电流传输能力受限,阻碍了 2D-TMD 晶体管和集成电路特性的增强。在这篇综述中,我们简洁地概述了金属/2D-TMD 界面的费米能级固定效应机制和奇特的接触电阻行为。随后,将重点介绍克服 2D-TMD 器件中接触电阻的最新进展,包括界面交互和混合、范德华 (vdW) 接触、预制金属转移和电荷转移掺杂。最后,讨论延伸到挑战,并提供了对未来发展前景的见解。

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