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大气等离子喷涂YOF涂层的刻蚀行为和耐氟等离子性能
Coatings ( IF 2.9 ) Pub Date : 2024-08-26 , DOI: 10.3390/coatings14091091
Zaifeng Tang 1, 2 , Yuwei Wang 2 , Kaiqu Ang 2 , Jin Xu 2 , Hua Meng 2 , Hongli Chen 3 , Yuxuan Wei 3 , Ying Shi 1 , Linjun Wang 1, 4, 5
Affiliation
人们对耐等离子涂层的需求很高，这种涂层可以防止等离子蚀刻设备内部陶瓷部件的腐蚀，从而减少颗粒污染和工艺漂移。使用大气等离子喷涂 (APS) 和市售 YOF/YF3 粉末混合物制备氟氧化钇 (YOF) 涂层；即 YOF 3%、YOF 6% 和 YOF 9%。使用由 NF3/He 组成的感应耦合等离子体研究 YOF 和氧化钇 (Y2O3) 涂层的蚀刻行为。 X射线光电子能谱(XPS)表明YOF 6%涂层具有最厚的氟化层。扫描电子显微镜 (SEM) 检查显示，与 Y2O3 相比，YOF 6% 涂层表现出出色的耐腐蚀性，并且产生的污染颗粒数量减少。因此，它更适合作为反应器内壁的保护材料。 YOF 涂层表现出优异的稳定性和高耐腐蚀性，表明它们适合用于半导体行业。
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