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CoFeB表面的氮等离子体处理使钴和铁偏析并形成氮化物
The Journal of Chemical Physics ( IF 3.1 ) Pub Date : 2016-10-19 12:40:54 , DOI: 10.1063/1.4964679
E. C. Mattson 1 , D. J. Michalak 2 , J. F. Veyan 1 , Y. J. Chabal 1
The Journal of Chemical Physics ( IF 3.1 ) Pub Date : 2016-10-19 12:40:54 , DOI: 10.1063/1.4964679
E. C. Mattson 1 , D. J. Michalak 2 , J. F. Veyan 1 , Y. J. Chabal 1
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钴铁硼（CoFeB）薄膜是磁性隧道结器件中铁磁层的行业标准，并且与基于CoFe的催化剂的相关表面密切相关。因此，在相关的加工条件下识别和理解其表面的组成至关重要。在这里，我们报告了使用红外光谱，X射线光电子能谱和低能离子散射对氮等离子体与CoFeB表面相互作用的基础研究。我们发现，暴露于氮等离子体后，干净的CoFeB表面会自发重组以形成由Fe 2 N 3组成的覆盖层和BN，通过化学驱动的过程，使Co原子移动到表面以下。随后退火至400°C，可除去氮，从而在表面区域富铁。
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更新日期：2016-10-20
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