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根据传输方向会聚或发散的超表面透镜可实现超紧凑 MEMS 可调谐反射透镜
arXiv - PHYS - Optics Pub Date : 2024-02-05 , DOI: arxiv-2402.02755
Firehun Dullo, Jesil Jose, Gregory Bouquet, Zeljko Skokic, Christopher Dirdal

传统的折射透镜表面可以充当正(会聚)或负(发散)透镜,但同一表面不能同时充当两者。我们证明,几何相位超表面透镜可以具有独特的特性,在通过其前侧或后侧传输时分别充当正透镜或负透镜。这为复合镜头设计提供了一定的自由度,其中结合了聚焦和散焦操作。我们利用这一特性来制造超紧凑的变焦反射透镜,其中超表面被放置在新型长冲程压电 MEMS 微镜的前面。由于创新的薄膜压电 MEMS 设计,可实现 6330 m$^{-1}$ 的大理论屈光度可调性,在 40V 和低功耗下提供 62 $\mu$m 位移,并在 kHz 区域快速驱动。所实现的 MEMS 位移比之前报道的面外机械超表面驱动大一个数量级。由于超表面和微镜都是平坦的,因此可以在不需要垫片的情况下组装所提出的反射透镜。因此,它非常适合大批量、低成本的晶圆级硅制造。演示了使用 1550nm NIR 超透镜的概念验证实现,对于由 53 $\mu 引起的 270 $\mu$m 焦距偏移,实现了约 1121 m$^{-1}$ 屈光度变化$m 微镜位移。



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更新日期:2024-02-06
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