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铁水侵蚀抛光的多晶CVD金刚石晶片
Diamond and Related Materials ( IF 4.3 ) Pub Date : 2023-12-15 , DOI: 10.1016/j.diamond.2023.110734
Haochen Zhang , Zengyu Yan , Hanxu Zhang , Zhipeng Song , Guangchao Chen

针对长期以来多晶抛光的难题高效安全的化学气相沉积(CVD)金刚石晶片,提出了一种铁水侵蚀抛光的热化学抛光(TCP)方法(MIEP)的提出,实现了多晶金刚石表面粗糙度(Ra)的快速改善晶片。通过设计实验设备和参数,将金刚石晶片浸入铁水中进行抛光。白光干涉仪测量表面粗糙度的实验结果表明,在MIEP的10 s内,原始表面粗糙度(Ra,∼30.850 μm)降低到∼5.204 μm。随后进行 10 分钟的机械抛光 (MP) 进一步抛光,平均 Ra 降低至~14 nm。 MIEP的材料去除率(MRR)达到46,800μm/h,平均抛光速率(PR)达到157.395μm/min。对拉曼和X射线光电子能谱(XPS)结果的深入分析揭示了碳原子溶解和扩散到铁水中的材料去除机制,这导致了这种新抛光方法的高MRR。





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更新日期:2023-12-19
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