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铁电 HfO2 薄膜中 La 掺杂引起的耐久性提高和唤醒效应降低的起源
Physical Review Applied ( IF 3.8 ) Pub Date : 2023-11-27 , DOI: 10.1103/physrevapplied.20.054052
Tao Yu , Shining Geng , Binjian Zeng , Ge Wang , Zewen Xiao , Yichun Zhou , Min Liao

铁电体2由于其与互补金属氧化物半导体技术的兼容性,它是铁电存储器应用的一种有前景的材料。然而,其实际应用受到与氧空位相关的可靠性问题的阻碍(V),比如耐力衰竭和唤醒效应。掺杂是提高耐力和减少唤醒效应的高效方法。在这项研究中,我们研究了铁电体这些性能改进的根源2通过密度泛函理论计算。我们的结果表明,未掺杂的铁电体2需要一定数量的V稳定其相,这只能在相对贫氧的条件下实现。然而,中性电荷状态V,由高于 (0/2+) 跃迁能级的费米能级稳定,可能会导致介电击穿。兴奋剂在位点显着降低了形成焓V通过降低费米能级,导致双正离子的适度集中V V2+在大多数化学势区域。这可以防止电介质击穿并提高器件的耐用性。此外,存在铁电体中的掺杂剂2显着增加扩散势垒V2+,降低唤醒效果。我们的研究结果为实际应用的铁电薄膜的设计和优化提供了见解。



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更新日期:2023-11-29
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