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采用 InGaN/AlGaInP 异构集成的单片全彩有源矩阵 Micro-LED 微型显示器
Light: Science & Applications ( IF 20.6 ) Pub Date : 2023-10-30 , DOI: 10.1038/s41377-023-01298-w
Longheng Qi 1 , Peian Li 1 , Xu Zhang 1 , Ka Ming Wong 1 , Kei May Lau 1
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更新日期:2023-10-30
Light: Science & Applications ( IF 20.6 ) Pub Date : 2023-10-30 , DOI: 10.1038/s41377-023-01298-w
Longheng Qi 1 , Peian Li 1 , Xu Zhang 1 , Ka Ming Wong 1 , Kei May Lau 1
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展示了采用 InGaN/AlGaInP 异质集成的全彩有源矩阵微型发光二极管 (micro-LED) 微型显示器原型,像素密度为每英寸 391 像素 (ppi)。InGaN 蓝/绿双色 Micro-LED 阵列在单金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 生长的 GaN-on-Si 外延片上实现,而 AlGaInP 红色 Micro-LED 阵列均采用单片制造,然后与常见的集成器件集成。互补金属氧化物半导体(CMOS)背板通过倒装键合技术形成双层薄膜显示结构。通过对RGB子像素驱动电流密度的微调,成功显示具有良好色域和亮度的全彩图像。该全彩显示器通过异质集成结合了InGaN材料对蓝/绿光的高量子效率和AlGaInP材料对红光的高量子效率和单片制造方法的高像素密度的优点,展示了高亮度、良好色彩表现的可行性和前景以及未来元宇宙应用中的高分辨率 micro-LED 微型显示器。

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